[發(fā)明專利]一種聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)及其測(cè)量方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710048869.7
• 申請(qǐng)日: 2017-01-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106771356B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙成;陳磊;張凱;楊義軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州大學(xué)
• 主分類號(hào): G01P15/09
• 分類號(hào): G01P15/09
• 代理公司: 揚(yáng)州蘇中專利事務(wù)所(普通合伙) 32222
• 代理人: 許必元

1.一種聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括壓電基片（1）、制作于壓電基片（1）上的聲表面波諧振器金屬指（2）和疊加在聲表面波諧振器金屬指（2）之上且與聲表面波諧振器金屬指（2）同形的可浮動(dòng)的質(zhì)量載荷指（4），所述聲表面波諧振器金屬指（2）包括聲表面波諧振器叉指換能器的金屬叉指（21）、聲表面波諧振器反射器的金屬反射指（22），所述質(zhì)量載荷指（4）通過(guò)制作在聲表面波諧振器金屬指（2）兩端聲表面波諧振器匯流電極（3）上的錨錠（5）支撐在聲表面波諧振器金屬指（2）之上，質(zhì)量載荷指（4）中部下垂，與其下方的聲表面波諧振器金屬指（2）局部接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述壓電基片（1）的材料為ST切型石英單晶，或者YZ切型鈮酸鋰單晶。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述聲表面波諧振器金屬指（2）、匯流電極（3）的材料為鋁、鋁銅合金或者金。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述質(zhì)量載荷指（4）的材料為鋁、鋁銅合金、金、二氧化硅或者氮化硅；當(dāng)質(zhì)量載荷指（4）的材料為鋁、鋁銅合金或金，錨錠（5）的材料為二氧化硅或氮化硅；當(dāng)質(zhì)量載荷指（4）的材料為二氧化硅或者氮化硅，錨錠（5）的材料為鋁、鋁銅合金、金、二氧化硅或者氮化硅。

5.一種聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)的測(cè)量方法，其特征是：聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)包括壓電基片（1）、制作于壓電基片（1）上的聲表面波諧振器金屬指（2）和疊加在聲表面波諧振器金屬指（2）之上且與聲表面波諧振器金屬指（2）同形的可浮動(dòng)的質(zhì)量載荷指（4），所述聲表面波諧振器金屬指（2）包括聲表面波諧振器叉指換能器的金屬叉指（21）、聲表面波諧振器反射器的金屬反射指（22），所述質(zhì)量載荷指（4）通過(guò)制作在聲表面波諧振器金屬指（2）兩端聲表面波諧振器匯流電極（3）上的錨錠（5）支撐在聲表面波諧振器金屬指（2）之上，質(zhì)量載荷指（4）中部下垂，與其下方的聲表面波諧振器金屬指（2）局部接觸；

若聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)作向下的加速運(yùn)動(dòng)，上層質(zhì)量載荷指（4）上浮，質(zhì)量載荷指（4）與其下方的聲表面波諧振器金屬指（2）部分或全部脫離，質(zhì)量載荷指（4）對(duì)下層的聲表面波諧振器金屬指（2）的壓力減小，聲表面波諧振器金屬指（2）的等效質(zhì)量因此而減小，聲表面波諧振器諧振頻率向高端偏移；

若聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)作向上的加速運(yùn)動(dòng)，上層質(zhì)量載荷指（4）下沉，質(zhì)量載荷指（4）與其下方的聲表面波諧振器金屬指（2）的接觸面增加，對(duì)聲表面波諧振器金屬指（2）的壓力增大，聲表面波諧振器金屬指（2）的等效質(zhì)量因此而增大，聲表面波諧振器諧振頻率向低端偏移；

檢測(cè)聲表面波諧振器諧振頻率的偏移量，就可以測(cè)定聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)加速度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)的測(cè)量方法，其特征在于：所述壓電基片（1）的材料為ST切型石英單晶，或者YZ切型鈮酸鋰單晶。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)的測(cè)量方法，其特征在于：所述聲表面波諧振器金屬指（2）、匯流電極（3）的材料為鋁、鋁銅合金或者金。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種聲表面波諧振器型加速度計(jì)結(jié)構(gòu)的測(cè)量方法，其特征在于：所述質(zhì)量載荷指（4）的材料為鋁、鋁銅合金、金、二氧化硅或者氮化硅；當(dāng)質(zhì)量載荷指（4）的材料為鋁、鋁銅合金或金，錨錠（5）的材料為二氧化硅或氮化硅；當(dāng)質(zhì)量載荷指（4）的材料為二氧化硅或者氮化硅，錨錠（5）的材料為鋁、鋁銅合金、金、二氧化硅或者氮化硅。