[發(fā)明專利]磨拋夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710048549.1
• 申請日: 2017-01-20
• 公開（公告）號: CN106695554B
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孔金霞;劉素平;馬驍宇
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
• 主分類號: B24B41/06
• 分類號: B24B41/06
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 張宇園

本發(fā)明提供了一種磨拋夾具，包括：限位柱套、N個固定柱和M個限位柱；限位柱套的內(nèi)部開有N個貫穿限位柱套的固定孔；N個固定柱分別安裝在所述固定孔中，其直徑與所述固定孔的直徑相匹配，并可在所述固定孔內(nèi)上下滑動和自由轉(zhuǎn)動；所述固定柱下方設(shè)置至少三個限位柱，其中，所述限位柱設(shè)置在相應(yīng)固定柱的下端平面上，其延伸方向與固定柱的下端平面垂直；其中，磨拋產(chǎn)品夾設(shè)于其中之一的固定柱下方至少三個限位柱之間。該磨拋夾具可以根據(jù)單管芯激光二極管的尺寸變化自由調(diào)節(jié)，使用簡單方便；該磨拋夾具還可以對多個磨拋產(chǎn)品同時進行磨拋，磨拋效率高，并且可以達到很好的磨拋均勻性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體激光二極管加工測試技術(shù)領(lǐng)域，特別是指制備電致發(fā)光樣品時采用的磨拋夾具。

背景技術(shù)

大功率激光二極管應(yīng)用非常廣泛，比如用作泵浦源、材料加工、醫(yī)療設(shè)備、紅外照明等。對大功率激光二極管進行失效分析，找到失效原因，針對容易產(chǎn)生失效的工藝過程進行優(yōu)化改進，從而提高大功率激光二極管的可靠性。電致發(fā)光是大功率激光二極管失效分析的有效手段之一，電致發(fā)光樣品的制備是非常關(guān)鍵的一步。單管芯激光二極管形狀為多邊形、體積小形狀復(fù)雜，尤其是燒結(jié)在陶瓷過渡熱沉上的單管芯激光二極管體積更小，更不方便固定，必須采用特殊設(shè)計的夾具上方可進行樣品制備，滿足研發(fā)測試的需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種磨拋夾具，不但可以同時對多個磨拋產(chǎn)品進行磨拋，還能夠適應(yīng)磨拋產(chǎn)品的尺寸與形狀的變化，在不更換磨拋夾具的情況下快速夾裝固定。

鑒于上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種磨拋夾具，包括：限位柱套、N個固定柱和M個限位柱。其中，限位柱套的內(nèi)部開有N個貫穿限位柱套的固定孔。N個固定柱分別安裝在固定孔中，其直徑與固定孔的直徑相匹配，并可在固定孔內(nèi)上下滑動和自由轉(zhuǎn)動。其中，M個限位柱，每個固定柱下方設(shè)置至少三個限位柱；限位柱設(shè)置在相應(yīng)固定柱的下端平面上，其延伸方向與固定柱的下端平面垂直。其中，磨拋產(chǎn)品夾設(shè)于其中之一的固定柱下方至少三個限位柱之間。

優(yōu)選地，本發(fā)明磨拋夾具中，限位柱的形狀為柱狀。

優(yōu)選地，本發(fā)明磨拋夾具中，固定柱的上端安裝有提拉桿。

優(yōu)選地，本發(fā)明磨拋夾具中，提拉桿上套有重力盤。

優(yōu)選地，本發(fā)明磨拋夾具中，限位柱套，固定安裝在磨拋機的機架上，限位柱套的下平面與磨拋盤平行安裝。

優(yōu)選地，本發(fā)明磨拋夾具中，在磨拋工作開始時，所述限位柱的下柱面與磨拋盤之間留有間隙；在固定柱壓力的作用下，磨拋產(chǎn)品的磨拋面與磨拋盤緊貼，固定柱在磨拋盤的帶動下在固定孔中自轉(zhuǎn)。

優(yōu)選地，本發(fā)明磨拋夾具中，限位柱為偏心限位柱。偏心限位柱包括下柱體和上偏心柱體，其中，下柱體安裝在固定柱的下端平面上的盲孔中，下柱體上開有環(huán)形限位槽。固定柱的柱體上開有螺孔，該螺孔中安裝有定位螺栓；該定位螺栓的前端穿過螺孔，卡在環(huán)形限位槽中。

優(yōu)選地，本發(fā)明磨拋夾具中，限位柱為軸轉(zhuǎn)限位柱。軸轉(zhuǎn)限位柱安裝在固定柱的下端平面上，軸轉(zhuǎn)限位柱的下端柱體，安裝在固定柱下端平面的盲孔中。軸轉(zhuǎn)限位柱的下端柱體上開有環(huán)形限位槽，固定柱的柱體上開有螺孔，該螺孔中安裝有定位螺栓；該定位螺栓的前端穿過螺孔，卡在環(huán)形限位槽中。

優(yōu)選地，本發(fā)明磨拋夾具中，軸轉(zhuǎn)限位柱的上柱體上，開有至少一個接觸平面，接觸平面與磨拋產(chǎn)品的壁面接觸安裝。

優(yōu)選地，本發(fā)明磨拋夾具中，軸轉(zhuǎn)限位柱的上柱體上，開有若干個接觸平面，每個接觸平面到軸轉(zhuǎn)限位柱柱心線的垂直距離不相等。

優(yōu)選地，本發(fā)明磨拋夾具中，軸轉(zhuǎn)限位柱上柱體的接觸平面上標(biāo)有刻度數(shù)值。

優(yōu)選地，本發(fā)明磨拋夾具中，磨拋產(chǎn)品為單管芯激光二極管。

基于以上技術(shù)方案，本發(fā)明磨拋夾具至少具有以下有益效果其中之一：