[發明專利]一種產生三維等離子體光子晶體的方法

有效

• 申請號: 201710045610.7
• 申請日: 2017-01-22
• 公開（公告）號: CN106842373B
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發明（設計）人: 董麗芳;高星
• 申請（專利權）人: 河北大學
• 主分類號: G02B1/00
• 分類號: G02B1/00;H05H1/24
• 代理公司: 石家莊國域專利商標事務所有限公司 13112
• 代理人: 胡素梅;胡澎

1.一種產生三維等離子體光子晶體的方法，包括如下步驟：

a、設置一個真空反應室，并在所述真空反應室內安裝兩個水電極，同時將所述水電極與等離子體發生電源電連接；

b、在兩個所述水電極之間設置有左、中、右三層依序疊加貼合的玻璃，在三層玻璃上制有空腔截面呈H型結構的放電間隙，左、中、右三層玻璃分別與兩個所述水電極的軸心線相垂直；

c、向所述真空反應室內注入空氣和氬氣的混合氣體作為放電氣體；

d、調整真空反應室內放電氣體的氣壓；

e、閉合開關，使等離子體發生電源作用于兩個所述水電極，即可在兩個所述水電極之間產生直式等離子體光子晶體；

其特征是，

步驟c中,放電氣體中氬氣體積占混合氣體體積的1%~10%；

步驟d中,通過調整使得真空反應室內放電氣體的氣壓大于0.1atm且小于0.2atm；

步驟e中，即可在兩個所述水電極之間產生直式和斜式等離子體光子晶體并存的三維等離子體光子晶體。

2.根據權利要求1所述的產生三維等離子體光子晶體的方法，其特征是，所述等離子體發生電源的放電電壓為1.5kV~5.0kV；所述等離子體發生電源的放電頻率為50kHz~55kHz。

3.根據權利要求2所述的產生三維等離子體光子晶體的方法，其特征是，所述等離子體發生電源的放電電壓為2.2kV~2.8kV；所述等離子體發生電源的放電頻率為54kHz。

4.根據權利要求1所述的產生三維等離子體光子晶體的方法，其特征是，在真空反應室外由混合氣體配比器配制空氣和氬氣的混合氣體，然后將配制后的混合氣體作為放電氣體注入真空反應室內。

5.根據權利要求1所述的產生三維等離子體光子晶體的方法，其特征是，步驟d中通過調整使得真空反應室內放電氣體的氣壓為0.12atm。

6.根據權利要求1所述的產生三維等離子體光子晶體的方法，其特征是，步驟c中向真空反應室內注入的放電氣體中，氬氣體積占混合氣體體積的5%。