[發明專利]復合式穩定移載裝置及加磁輸送輪

在審

• 申請號: 201710044601.6
• 申請日: 2017-01-19
• 公開（公告）號: CN106756837A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 劉鎰誠;謝禮謙;蘇暉家;張倧偉
• 申請（專利權）人: 凌嘉科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司11355
• 代理人: 史瞳,許榮文

1.一種復合式穩定移載裝置，用于安裝在一個濺鍍腔體，該復合式穩定移載裝置包含：兩個輪座、數個設置于所述輪座的輪組、一個承靠于所述輪組的載臺單元，及一個用于驅動所述輪組的驅動單元；其特征在于：

所述輪座，沿一個橫方向間隔設置于該濺鍍腔體內，各輪座沿一個垂直于該橫方向的輸送方向延伸；

所述輪組，其中數者沿該輸送方向間隔設置于其中一個輪座，其余數者沿該輸送方向間隔設置于另一個輪座，各輪組包括

一個輪軸，樞設于所對應的輪座，及

一個加磁輸送輪，連接該輪軸，且具有一個軸線、一個環繞該軸線的輪周部、一個環繞該軸線設置于該輪周部內的磁軌環，及至少一個環繞設置于該輪周部的外周面且具有彈性的摩擦環，該磁軌環具有環繞該軸線交錯間隔設置的數個正磁區及數個負磁區，各正磁區的磁極相異于各負磁區的磁極；

該載臺單元，承靠于所述輪組的摩擦環，并包括一個載臺，及兩個沿該橫方向間隔設置于該載臺的磁軌條，各磁軌條沿該輸送方向延伸且具有沿該輸送方向交錯間隔設置的數個正磁區及數個負磁區，各正磁區的磁極相異于各負磁區的磁極，所述磁軌條其中一者是對應設置于其中一個輪座的所述輪組，所述磁軌條另一者是對應設置于另一個輪座的所述輪組；及

該驅動單元，能被操作用于驅動所述輪組同步運轉。

2.根據權利要求1所述的復合式穩定移載裝置，其特征在于：各加磁輸送輪還具有一個殼體及一個側封環蓋，該殼體具有該輪周部、一個沿徑向位于該輪周部內側的軸承環部、一個由該輪周部的一端延伸至該軸承環部的封閉側部，及一個由該輪周部、該軸承環部及該封閉側部所界定形成的容置空間，該側封環蓋蓋設于該殼體的該輪周部相反于該封閉側部的一端，以封閉該容置空間的開口。

3.根據權利要求2所述的復合式穩定移載裝置，其特征在于：各磁軌環設置于所對應的加磁輸送輪的該容置空間，且貼設于各加磁輸送輪的該輪周部的內周面。

4.根據權利要求1所述的復合式穩定移載裝置，其特征在于：該載臺的底面凹陷形成兩個分別供所述磁軌條嵌設的嵌槽，該載臺單元的所述磁軌條分別承靠于所述輪組的摩擦環。

5.根據權利要求1所述的復合式穩定移載裝置，其特征在于：定義其中兩個沿該橫方向相對設置的輪組為主動輪組，定義其余的輪組為從動輪組，該驅動單元包括一個驅動件、一個連接軸、數個傳動輪，及兩個傳動組，該驅動件連接于其中一個主動輪組的輪軸，該連接軸連接所述主動輪組的輪軸，所述傳動輪分別設置于所述輪組的輪軸，所述傳動組其中一者將設置于該其中一個輪座的所述輪組的傳動輪相連接，所述傳動組另一者將設置于另一個輪座的所述輪組的傳動輪相連接，用于致使所述輪組能同步運轉。

6.一種加磁輸送輪，包含：一個軸線，及一個環繞該軸線的輪周部；其特征在于：

該加磁輸送輪還包含：

一個磁軌環，環繞該軸線并設置于該輪周部內，且包括環繞該軸線交錯間隔設置的數個正磁區及數個負磁區，各正磁區的磁極相異于各負磁區的磁極；及

至少一個摩擦環，環繞設置于該輪周部的外周面且具有彈性。

7.根據權利要求6所述的加磁輸送輪，其特征在于：該加磁輸送輪還包含一個殼體及一個側封環蓋，該殼體包括該輪周部、一個沿徑向位于該輪周部內側的軸承環部、一個由該輪周部的一端延伸至該軸承環部的封閉側部，及一個由該輪周部、該軸承環部及該封閉側部所界定形成的容置空間，該側封環蓋蓋設于該殼體的該輪周部相反于該封閉側部的一端，以封閉該容置空間的開口。

8.根據權利要求6或7所述的加磁輸送輪，其特征在于：該磁軌環設置于該容置空間，且貼設于該輪周部的內周面。