[發明專利]彩色太陽能電池片、制備方法、電池組件以及PECVD設備

有效

• 申請號: 201710039048.7
• 申請日: 2017-01-19
• 公開（公告）號: CN106847997B
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 李翠雙;張曉朋;張建旗;王海亮
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0216
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 申超平

1.一種彩色太陽能電池片的制備方法，在硅片上制備氮化硅減反射膜的過程中，采用化學氣相沉積法，將硅片正面向上經傳送通過沉積室，在所述沉積室內硅片的上方，沿硅片傳送方向設有水平排列的多組垂直于所述傳送方向的特氣管路，所述特氣管路上設有均勻分布的特氣孔，用于向所述沉積室內通入原料氣，并于硅片正面沉積氮化硅減反射膜，其特征在于：所述特氣管路中包括至少兩組相鄰的特氣管路為彩色鍍膜特氣管路，其余組特氣管路為均勻鍍膜特氣管路，所述彩色鍍膜特氣管路中的每組特氣管路均由至少兩個管段順序排列構成，相鄰管段向所述沉積室內通入原料氣的流量不同且可調，鍍膜時，每個硅片的鍍膜面上方對應于彩色鍍膜特氣管路內每組特氣管路的至少兩個相鄰管段，使得所述硅片經過所述彩色鍍膜特氣管路下方后，硅片片內不同區域沉積不同厚度的氮化硅減反射膜，使制得的電池片表面呈現出不同顏色；

所述彩色鍍膜特氣管路內不同組特氣管路間管段為錯位布置；

所述彩色鍍膜特氣管路包括兩組特氣管路，分別命名為第n組特氣管路和第n+1組特氣管路，其均由相同個數等長度的管段構成，所述第n組特氣管路的第x管段和第x+1管段分別與所述第n+1組特氣管路的第x’管段和第x’+1管段錯位布置，且第x+1管段與所述第x’管段沿硅片傳送方向有重疊區，鍍膜時，通過調整所述第x管段和第x+1管段、第x’管段和第x’+1管段的原料氣流量，使通過所述第x管段和第x+1管段、第x’管段和第x’+1管段下方的一硅片片內三個平行區域沉積不同厚度的氮化硅減反射膜，所述硅片片內三個平行區域，分別命名為a區、b區和c區，所述a區的顏色由所述第x管段和第x’管段的原料氣流量控制，所述b區的顏色由所述第x+1管段和第x’管段的原料氣流量控制，所述c區的顏色由所述第x+1管段和第x’+1管段的原料氣流量控制；

其中x＝x’,且n為大于或等于3的自然數，x為大于或等于1的自然數。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于所述化學氣相沉積法為等離子體增強化學氣相沉積法，所述原料氣通過特氣孔向下通入沉積室內硅片正面；每組特氣管路包括一個氨氣管路和兩個硅烷管路，呈品字形布置，且所述氨氣管路位于兩個硅烷管路的上方中間位置，氨氣管路的特氣孔與硅烷管路的特氣孔位置一一對應；

所述特氣管路為四組、六組或八組，所述彩色鍍膜特氣管路排列于所述均勻鍍膜特氣管路之后。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于所述硅片在所述彩色鍍膜特氣管路下鍍膜時，其a區、b區和c區分別對應管段上相同數目的特氣孔。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于所述特氣管路為等間隔平行排列的八組，前六組為等長的均勻鍍膜特氣管路，第七組和第八組特氣管路為等長的彩色鍍膜特氣管路，且第七組和第八組特氣管路的長度均小于所述均勻鍍膜特氣管路的長度，所述第七組和第八組特氣管路錯位布置，其各自在一端與所述均勻鍍膜特氣管路齊平，使得所述第七組和第八組特氣管路間管段錯位；

所述彩色鍍膜特氣管路內每組特氣管路均由6段管段首尾順次連接構成，每段管段上均設有等間隔分布的6個特氣孔，且第七組管路第1管段的第5孔、第6孔分別與第八組管路第1管段的第3孔、第4孔對應，控制第一片硅片上a區的顏色；第七組管路第2管段的第1孔、第2孔分別與第八組管路第1管段的第5孔、第6孔對應，控制第一片硅片上b區的顏色；第七組管路第2管段的第3孔、第4孔分別與第八組管路第2管段的第1孔、第2孔對應，控制第一片硅片上c區的顏色；

依次類推，直至第七組管路第5管段的第5孔、第6孔分別與第八組管路第5管段的第3孔、第4孔對應，第七組管路第6管段的第1孔、第2孔分別與第八組管路第5管段的第5孔、第6孔對應，第七組管路第6管段的第3孔、第4孔分別與第八組管路第6管段的第1孔、第2孔對應，分別控制第五片硅片a區、b區和c區的顏色；

第七組和第八組特氣管路中第1段和第6段的其它特氣孔作為邊緣補償特氣孔。

5.采用如權利要求1-4中任意一項所述的制備方法制得的彩色太陽能電池片，所述彩色太陽能電池片的正面和/或背面設有彩色鍍膜；所述背面設有彩色鍍膜的彩色太陽能電池片在制備時，將硅片背面向上經傳送通過沉積室鍍彩色膜。