[發(fā)明專利]化學(xué)傳感器及其制造方法

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• 申請日: 2017-01-17
• 公開（公告）號: CN106645341A
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 連健宏;蕭夏彩;劉竹育
• 申請（專利權(quán)）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G01N27/30
• 分類號: G01N27/30
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11006
• 代理人: 梁揮,鮑俊萍

1.一種化學(xué)傳感器，其具有一感測區(qū)，其特征在于，該化學(xué)傳感器包含：

一基材，該基材具有一基材表面與至少一溝槽，該至少一溝槽位于該基材表面，且該至少一溝槽延伸至該感測區(qū)；

至少一電極，位于該至少一溝槽中，該至少一電極的厚度小于或等于該至少一溝槽的深度，且該至少一電極延伸至該感測區(qū)；以及

至少一反應(yīng)層，覆蓋位于該感測區(qū)的該至少一電極，該至少一反應(yīng)層包含一反應(yīng)材料與一磷酸鹽緩沖材料，該磷酸鹽緩沖材料的磷酸二氫根體積摩爾濃度為0.22M至0.28M，且該磷酸鹽緩沖材料的pH值為7.0。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)傳感器，其特征在于，該反應(yīng)材料覆蓋該至少一電極，該磷酸鹽緩沖材料覆蓋該反應(yīng)材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)傳感器，其特征在于，該磷酸鹽緩沖材料覆蓋該至少一電極，該反應(yīng)材料覆蓋該磷酸鹽緩沖材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)傳感器，其特征在于，該反應(yīng)材料與該磷酸鹽緩沖材料彼此混合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)傳感器，其特征在于，該至少一溝槽延伸并通過該感測區(qū)，且該至少一電極延伸并通過該感測區(qū)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)傳感器，其特征在于，更包含一蓋板與一絕緣層，該蓋板位于該基材表面，該絕緣層位于該蓋板與該基材之間。

7.一種化學(xué)傳感器的制造方法，該化學(xué)傳感器具有一感測區(qū)，其特征在于，該方法包含：

提供一基材；

形成至少一溝槽于該基材的一基材表面，并延伸至該感測區(qū)；

形成至少一電極于該至少一溝槽中，其中該至少一電極的厚度小于或等于該至少一溝槽的深度，且該至少一電極延伸至該感測區(qū)；以及

形成一反應(yīng)層于該感測區(qū)內(nèi)并覆蓋該至少一電極，該反應(yīng)層包含一反應(yīng)材料與一磷酸鹽緩沖材料，該磷酸鹽緩沖材料的磷酸二氫根體積摩爾濃度為0.22M至0.28M，且該磷酸鹽緩沖材料的pH值為7.0。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)傳感器的制造方法，其特征在于，形成該反應(yīng)層于該感測區(qū)內(nèi)并覆蓋該至少一電極的步驟包含：

設(shè)置該反應(yīng)材料于該感測區(qū)內(nèi)并覆蓋該至少一電極；以及

設(shè)置該磷酸鹽緩沖材料于該感測區(qū)內(nèi)并覆蓋該反應(yīng)材料。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)傳感器的制造方法，其特征在于，形成該反應(yīng)層于該感測區(qū)內(nèi)并覆蓋該至少一電極的步驟包含：

設(shè)置該磷酸鹽緩沖材料于該感測區(qū)內(nèi)并覆蓋該至少一電極；以及

設(shè)置該反應(yīng)材料于該感測區(qū)內(nèi)并覆蓋該磷酸鹽緩沖材料。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)傳感器的制造方法，其特征在于，形成該反應(yīng)層于該感測區(qū)內(nèi)并覆蓋該至少一電極的步驟包含：

混合該反應(yīng)材料與該磷酸鹽緩沖材料以形成一混合物；以及

設(shè)置該混合物于該感測區(qū)內(nèi)并覆蓋該至少一電極。