[發(fā)明專利]聚酰亞胺濕敏材料及其在電容型濕度傳感器的應(yīng)用

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710034625.3
• 申請日: 2017-01-18
• 公開（公告）號: CN106800653A
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王洋洋;秦浩;海濤;張巍;劉繼江;周明軍
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第四十九研究所
• 主分類號: C08G73/10
• 分類號: C08G73/10;C08J5/18;G01N27/22
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務(wù)所23109
• 代理人: 侯靜

1.聚酰亞胺濕敏材料，其特征在于該聚酰亞胺濕敏材料的化學結(jié)構(gòu)式如下：

其中A和B均代表含氟基團，A和B的結(jié)構(gòu)通式為C_nH_mF_2n-m+1，

聚酰亞胺濕敏材料的化學結(jié)構(gòu)式中R的化學結(jié)構(gòu)通式為：

其中R₉～R₁₄為氫原子、氟原子、三氟甲基、氰基、酰基、醛基、羧基、酰氨基、磺酸基、腈基、硝基、鹵仿基或季胺基，R₉＇～R₁₂＇為與R₉～R₁₂相對應(yīng)的原子或基團。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚酰亞胺濕敏材料，其特征在于含氟基團A為-F、-CHF₂、-CF₃或-C₂H₂F₃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚酰亞胺濕敏材料，其特征在于含氟基團B為-F、-CHF₂、-CF₃或-C₂H₂F₃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚酰亞胺濕敏材料的應(yīng)用，其特征在于將聚酰亞胺濕敏材料作為感濕膜應(yīng)用于電容型濕度傳感器中。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的聚酰亞胺濕敏材料的應(yīng)用，其特征在于電容型濕度傳感器包括下電極(2)、感濕膜(3)和上電極(4)，在襯底基片(1)上形成金屬下電極(2)，在金屬下電極(2)的表面涂覆形成感濕膜(3)，在感濕膜(3)的上表面形成金屬上電極(4)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聚酰亞胺濕敏材料的應(yīng)用，其特征在于金屬下電極(2)和金屬上電極(4)的材質(zhì)為金或鉑。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聚酰亞胺濕敏材料的應(yīng)用，其特征在于金屬下電極(2)和金屬上電極(4)的厚度各為0.5～1.5μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聚酰亞胺濕敏材料的應(yīng)用，其特征在于感濕膜(3)的厚度為0.5～1.5μm。