[發(fā)明專利]一種柔性鉸鏈導(dǎo)向的平面XYθ三自由度精度補(bǔ)償器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710028066.5
• 申請(qǐng)日: 2017-01-12
• 公開（公告）號(hào): CN106514631B
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何思豐;湯暉;陳新;向曉彬;車俊杰;陳創(chuàng)斌;邱遷;李宏城;高健;賀云波;楊志軍;李楊民
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): B25J9/00
• 分類號(hào): B25J9/00
• 代理公司: 佛山市禾才知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司44379
• 代理人: 劉羽波

1.一種柔性鉸鏈導(dǎo)向的XYθ平面三自由度精度補(bǔ)償器，其特征在于：包括補(bǔ)償裝置和安裝底座；

所述補(bǔ)償裝置包括三組固定塊、末端執(zhí)行器、三個(gè)位移驅(qū)動(dòng)裝置和三組分別連接于各所述固定塊和末端執(zhí)行器之間的三條柔性支鏈，所述固定塊固定于所述安裝底座；

所述末端執(zhí)行器呈三角形塊狀，三個(gè)所述固定塊以環(huán)形陣列的方式設(shè)置在所述末端執(zhí)行器周圍，三個(gè)所述固定塊的內(nèi)端面分別對(duì)應(yīng)于所述末端執(zhí)行器的三個(gè)端面；

每個(gè)所述柔性支鏈兩端分別通過鉸鏈鉸接于所述末端執(zhí)行器和所述固定塊，所述柔性支鏈包括第一杠桿和第二杠桿，所述第一杠桿與第二杠桿之間呈八十五度到九十五度的夾角，所述第二杠桿一端通過鉸鏈鉸接于所述末端執(zhí)行器；

所述第一杠桿的尾段通過鉸鏈鉸接于一個(gè)所述固定塊的外端面的左邊部分，所述第二杠桿通過鉸鏈鉸接于所述第一杠桿前段，所述第二杠桿位于所述固定塊右端面；

每個(gè)所述位移驅(qū)動(dòng)裝置分別約束于一個(gè)所述固定塊，所述位移驅(qū)動(dòng)裝置端部通過螺釘固定于所述第一杠桿尾段；

所述末端執(zhí)行器的三個(gè)側(cè)端面均設(shè)有凸塊，所述凸塊均位于所述末端執(zhí)行器側(cè)端面的右邊，所述凸塊的外側(cè)壁與相鄰的末端執(zhí)行器側(cè)面為圓角過渡；

所述凸塊的正端面朝向所述第二杠桿，所述第二杠桿一端通過鉸鏈鉸接于第一杠桿的前段，所述第二杠桿另一端通過鉸鏈鉸接于所述凸塊的正端面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性鉸鏈導(dǎo)向的XYθ平面三自由度精度補(bǔ)償器，其特征在于：所述補(bǔ)償裝置還包括基座盤，所述末端執(zhí)行器的中心點(diǎn)和所述基座盤的圓心同心；

所述基座盤與三個(gè)所述固定塊一體化設(shè)置，所述基座盤上開設(shè)有位移驅(qū)動(dòng)裝置安裝槽、第一杠桿容納槽和第二杠桿容納槽；

所述驅(qū)動(dòng)裝置安裝槽開設(shè)于所述固定塊左端面處，所述第一杠桿容納槽開設(shè)于所述固定塊外端面處，所述第二杠桿容納槽開設(shè)于所述固定塊右端面處。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性鉸鏈導(dǎo)向的XYθ平面三自由度精度補(bǔ)償器，其特征在于：所述固定塊和基座盤固定安裝于所述安裝底座，所述安裝底座呈圓形，所述安裝底座與所述基座盤的直徑相等。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的柔性鉸鏈導(dǎo)向的XYθ平面三自由度精度補(bǔ)償器，其特征在于：所述鉸鏈為圓弧型柔性鉸鏈。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的柔性鉸鏈導(dǎo)向的XYθ平面三自由度精度補(bǔ)償器，其特征在于：所述位移驅(qū)動(dòng)裝置端部設(shè)有保護(hù)套筒。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性鉸鏈導(dǎo)向的XYθ平面三自由度精度補(bǔ)償器，其特征在于：所述第一杠桿的尾端到前段呈由粗變細(xì)的形狀，所述第一杠桿的尾端開設(shè)有缺口；

所述第一杠桿容納槽的端部超出第二杠桿容納槽側(cè)壁，所述第一杠桿的端部限制于所述第一杠桿容納槽的端部。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的柔性鉸鏈導(dǎo)向的XYθ平面三自由度精度補(bǔ)償器，其特征在于：所述位移驅(qū)動(dòng)裝置為堆棧式壓電陶瓷，所述保護(hù)套筒為彈性套筒。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的柔性鉸鏈導(dǎo)向的XYθ平面三自由度精度補(bǔ)償器，其特征在于：還包括位移檢測(cè)裝置，所述位移檢測(cè)裝置包括凸塊和激光位移傳感器；

所述保護(hù)套筒頂端均固定設(shè)有所述凸塊，所述凸塊呈矩形體狀，所述凸塊前側(cè)面和后側(cè)面為鏡面，所述凸塊前側(cè)面與所述位移驅(qū)動(dòng)裝置平行；

所述激光位移傳感器對(duì)準(zhǔn)于所述凸塊的前側(cè)面，每個(gè)所述凸塊均設(shè)有一個(gè)對(duì)應(yīng)的激光位移傳感器。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的柔性鉸鏈導(dǎo)向的XYθ平面三自由度精度補(bǔ)償器，其特征在于：所述末端執(zhí)行器上固定安裝有晶圓臺(tái)，所述晶圓臺(tái)呈薄圓盤狀。