[發明專利]液體噴射頭制造方法有效
| 申請號： | 201710027199.0 | 申請日： | 2017-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN106976316B | 公開（公告）日： | 2019-11-22 |
| 發明（設計）人： | 松本圭司;山室純;淺井和宏;笹木弘司;魚橋邦仁;柳沼誠一郎;村上遼太郎;渡部正久;中野智彥;枝松啟治;中田春香;藤井謙兒 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | B41J2/16 | 分類號： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 11038 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 林振波<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 液體 噴射 制造 方法 | ||
1.一種制造液體噴射頭的方法，液體噴射頭具有噴射口形成區域，噴射口形成區域包括：液體噴射能量生成元件，其連同用于驅動液體噴射能量生成元件的電配線一起設置在基板的第一表面上；多個液體供給口，各自貫穿基板并且具有在基板的第一表面處的開口；液體路徑，形成在第一表面上，作為容納液體噴射能量生成元件和所述多個液體供給口的空間；和噴射口，用于通過驅動液體噴射能量生成元件而從液體路徑噴射液體，該方法包括：
使用第一干膜光阻在基板的第一表面上形成液體路徑形成部件的步驟；
在液體路徑形成部件上形成噴射口形成部件的步驟；
在液體路徑形成部件中形成液體路徑的步驟；和
在噴射口形成部件中形成噴射口的步驟，
其中，基板具有在噴射口形成區域外的多個假孔，每個假孔具有在基板的第一表面處的開口，
其中，形成液體路徑的步驟包括固化位于假孔上方的液體路徑形成部件的至少一部分的步驟。
2.根據權利要求1的方法，其中，
假孔的開口邊緣和所述多個液體供給口的開口邊緣之間的最小距離不小于0.2mm且不大于1.0mm。
3.根據權利要求1的方法，其中，
形成液體路徑的步驟包括固化位于假孔上方的全部液體路徑形成部件的步驟。
4.根據權利要求1的方法，其中，
形成噴射口形成部件的步驟是通過使用第二干膜光阻來形成噴射口形成部件的步驟，并且形成噴射口的步驟包括固化位于假孔上方的噴射口形成部件的至少一部分的步驟。
5.根據權利要求4的方法，其中，
形成噴射口的步驟包括固化位于假孔上方的全部噴射口形成部件的步驟。
6.根據權利要求2的方法，其中，
形成液體路徑的步驟包括固化位于假孔上方的液體路徑形成部件的至少一部分的步驟。
7.根據權利要求6的方法，其中，
形成液體路徑的步驟包括固化位于假孔上方的全部液體路徑形成部件的步驟。
8.根據權利要求2的方法，其中，
形成噴射口形成部件的步驟是通過使用第二干膜光阻來形成噴射口形成部件的步驟，并且形成噴射口的步驟包括固化位于假孔上方的噴射口形成部件的至少一部分的步驟。
9.根據權利要求8的方法，其中，
形成噴射口的步驟包括固化位于假孔上方的全部噴射口形成部件的步驟。
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