[發明專利]晶體生長界面擾動的原位探測方法、控制方法及控制系統有效
| 申請號： | 201710025412.4 | 申請日： | 2017-01-13 |
| 公開（公告）號： | CN106544723B | 公開（公告）日： | 2018-11-13 |
| 發明（設計）人： | 朱允中;王彪;馬德才;林少鵬 | 申請（專利權）人： | 中山大學 |
| 主分類號： | C30B15/22 | 分類號： | C30B15/22 |
| 代理公司： | 廣州駿思知識產權代理有限公司 44425 | 代理人： | 吳靜芝 |
| 地址： | 510275 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶體生長 界面 擾動 原位 探測 方法 控制 控制系統 | ||
【權利要求書】：
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