[發明專利]一種晶體生長爐加熱器以及藍寶石晶體生長爐

在審

• 申請號: 201710024371.7
• 申請日: 2017-01-13
• 公開（公告）號: CN106835278A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 藺崇召;姚剛;孫占喜;李吾臣
• 申請（專利權）人: 許昌天戈硅業科技有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B15/20;C30B15/14;C30B15/10
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙)41120
• 代理人: 時國珍

1.一種晶體生長爐加熱器，其特征在于：所述加熱系統包括環形基筒（16）、加熱環（17）以及用于驅動基筒上下移動的電機（18），加熱環（17）設置在環形基筒（16）的內壁上，且加熱環（17）通過導線與爐體（1）外部的加熱元件電源和控制器連接，所述爐體（1）的爐蓋上對稱設置有兩個電機（18），電機（18）與控制器通過導線連接，電機（18）的輸出軸上繞設有提拉線（19），提拉線（19）的下端穿過爐體（1）并與環形基筒（16）的上端固定連接。

2.如權利要求1所述一種晶體生長爐加熱器，其特征在于：所述提拉線（19）上設置有溫度傳感器，溫度傳感器通過導線與控制器連接。

3.一種藍寶石晶體生長爐，其特征在于：包括權利要求1或權利要求2所述的晶體生長爐加熱器。

4.如權利要求3所述的藍寶石晶體生長爐，其特征在于：晶體生長爐還包括爐體（1）、坩堝（2）、冷卻器（3）和換熱器（4）；

所述爐體（1）的內壁和底壁上均設置有隔熱層（5），爐體（1）的側壁上部設置有用于向爐體（1）內部充入惰性保護氣的進氣孔（6），爐體（1）的側壁下部設置有用于抽真空的排氣孔（7），所述坩堝（2）設置在爐體（1）內部，爐體（1）的頂部中心位置設置可供拉晶桿（8）穿過的通孔，拉晶桿（8）的下端穿過該通孔并置于坩堝（2）上方，且拉晶桿（8）的下端端頭設置有籽晶（9）；

所述坩堝（2）的底部設置有冷卻組件，冷卻組件包括與坩堝（2）底部緊密貼合的水冷盤（10）以及用于支撐水冷盤（10）的支桿（11），水冷盤（10）的內部盤設有水冷管（12），爐體（1）的底部對應支桿（11）的下端處設置有管道口，所述支桿（11）為中空桿體，水冷管（12）的進水端和出水端均穿過支桿（11）內部并置于爐體（1）外；所述水冷管（12）的出水端連接有排水管（13），排水管（13）的尾端分為兩根支管，其中一根支管連接至換熱器（4）的循環水流道進口，另外一根支管連接至冷卻器（3）的進水口，且兩根支管上均設置有流量控制閥（14），流量控制閥（14）通過導線與控制器連接，換熱器（4）的循環水流道出口和冷卻器（3）的出水口通過管道匯集后經進水管（15）連接至水冷管（12）的進水端，所述換熱器（4）的保護氣流道進口連接至供氣系統，換熱器（4）的保護氣流道出口連接至爐體（1）上的進氣孔（6）；

所述冷卻器包括箱體（20）、分流器（21）、匯流器（22）和三組平行設置的冷卻管道，分流器（21）和匯流器（22）分別設置在箱體（20）相對的兩端，分流器（21）包括前表面設置的一個進水口和后表面設置的三組分流口，每組分流口包括兩個通水口，分流器（21）的每一組分流口都設置一個分流調節閥，且分流調節閥與控制器通過線路控制連接，匯流器（22）包括前表面設置的三組匯流口和后表面設置的一個出水口，每組匯流口包括兩個通水口，匯流器（22）的出水口處設置有溫度傳感器，且溫度傳感器與控制器通過線路控制連接，所述冷卻管道包括直流管（23）和螺旋管（24），直流管（23）設置在螺旋管（24）的螺旋中心，冷卻管道的前端通過分流調節閥與分流器（21）連接，末端與匯流器（22）的匯流口連接。

5.如權利要求4所述的一種藍寶石晶體生長爐，其特征在于：所述爐體（1）的側壁還開設有觀察窗。

6.如權利要求4所述的一種藍寶石晶體生長爐，其特征在于：所述隔熱層（5）的材質為氧化鋯。