[發(fā)明專利]一種增強(qiáng)型熱穩(wěn)定性光敏傳感器及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710024009.X
• 申請(qǐng)日: 2017-01-13
• 公開（公告）號(hào): CN106876588B
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高敏;齊志輝;林媛;潘泰松;張胤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L51/42
• 分類號(hào): H01L51/42;H01L51/48;C23C18/12
• 代理公司: 電子科技大學(xué)專利中心 51203
• 代理人: 甘茂

1.一種增強(qiáng)型熱穩(wěn)定性光敏傳感器，包括從下向上依次層疊的基底、感光層和增強(qiáng)層，其特征在于，所述基底為單晶藍(lán)寶石(Al₂O₃)基片，所述感光層為二氧化釩薄膜，所述增強(qiáng)層為鈣鈦礦薄膜且在光的作用下產(chǎn)生光生載流子；當(dāng)光作用于傳感器上時(shí)，感光層會(huì)在光的作用下產(chǎn)生相應(yīng)的電阻變化，而增強(qiáng)層會(huì)在光的作用下產(chǎn)生光生載流子，對(duì)其下面的感光層進(jìn)行進(jìn)一步的電調(diào)制，從而增強(qiáng)感光層對(duì)光的響應(yīng)率，同時(shí)使得所制光敏傳感器對(duì)光的響應(yīng)更加靈敏。

2.按權(quán)利要求1所述增強(qiáng)型熱穩(wěn)定性光敏傳感器，其特征在于，所述二氧化釩薄膜的厚度為60～100nm，所述鈣鈦礦薄膜的厚度為250～350nm。

3.按權(quán)利要求1所述增強(qiáng)型熱穩(wěn)定性光敏傳感器的制備方法，包括以下步驟：

步驟1：配制無機(jī)偏釩酸鹽聚合物溶液，濾除溶液中游離的離子，形成釩的聚合物前驅(qū)溶液；

步驟2：將藍(lán)寶石基片清洗吹干，放置待用；

步驟3：將步驟1所得釩的聚合物前驅(qū)溶液旋涂于藍(lán)寶石基片表面，烘干后于空氣中冷卻；

步驟4：將經(jīng)步驟3的藍(lán)寶石基片置于還原氣氛中，于400～450℃熱處理60～70min，冷卻得到二氧化釩薄膜；

步驟5：將步驟4制得的二氧化釩薄膜四角用膠帶粘蓋，放置待用；

步驟6：配制CH₃NH₃PbI₃前驅(qū)液；

步驟7：在步驟5得到二氧化釩薄膜表面滴加CH₃NH₃PbI₃前驅(qū)液，經(jīng)旋涂、烘烤，得到鈣鈦礦薄膜；

步驟8：撕掉膠帶，即制備得所述增強(qiáng)型熱穩(wěn)定性光敏傳感器。

4.按權(quán)利要求3所述增強(qiáng)型熱穩(wěn)定性光敏傳感器的制備方法，其特征在于，步驟1中，無機(jī)偏釩酸鹽聚合物溶液配制的過程為：取聚乙烯亞胺于燒杯中加入去離子水，攪拌至完全溶解，再加入偏釩酸鈉，超聲攪拌至溶液呈黃棕色澄清透明，再加入乙二胺四乙酸，攪拌至完全溶解，溶液由淡黃色慢慢轉(zhuǎn)變成綠色，采用超濾裝置，濾去溶液中游離的離子，形成釩的聚合物前驅(qū)溶液。

5.按權(quán)利要求3所述增強(qiáng)型熱穩(wěn)定性光敏傳感器的制備方法，其特征在于，步驟4的高溫環(huán)境為管式爐，并通入混合保護(hù)氣體，混合保護(hù)氣體的具體組分為98％的氮?dú)饧?％的氫氣；具體熱處理工藝為：從室溫升溫到400～450℃，升溫速率為1℃/min；保溫60～70min；最后降至室溫，降溫速度為5℃/min。

6.按權(quán)利要求3所述增強(qiáng)型熱穩(wěn)定性光敏傳感器的制備方法，其特征在于，步驟6中，CH₃NH₃PbI₃前驅(qū)液的配制過程為：PbI₂和CH₃NH₃I溶于DMF中，勻速攪拌12h。

7.按權(quán)利要求3所述增強(qiáng)型熱穩(wěn)定性光敏傳感器的制備方法，其特征在于，步驟3的烘干環(huán)境為恒溫烘箱。

8.按權(quán)利要求3所述增強(qiáng)型熱穩(wěn)定性光敏傳感器的制備方法，其特征在于，步驟5所述膠帶為PVC膠帶。