[發明專利]一種超純水生產系統

在審

• 申請號: 201710017043.4
• 申請日: 2017-01-11
• 公開（公告）號: CN106746051A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 蘇倩;郭金銳;崔琳
• 申請（專利權）人: 北京共創富來節能環保科技有限公司
• 主分類號: C02F9/06
• 分類號: C02F9/06;C02F103/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及水處理領域，尤其涉及一種超純水生產系統。

背景技術

超純水是純度極高的水，其既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水，超純水的電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.2MΩ*cm極限值。其一般用于集成電路工業中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。

超純水一般的工藝處理比較難以實現，目前超純水的工藝包括以下幾種方式：

1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）(傳統工藝)；

2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）(最新工藝)；

3、預處理→一級反滲透→加藥機（PH調節）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥17MΩ.CM）(最新工藝)；

4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥15MΩ.CM）(最新工藝)。

上述各種工藝采用的設備均比較多，整個系統的占地面積較大。

發明內容

針對上述技術問題，本發明的目的是提供一種占地面積較小的、節省設備投資和運行費用的超純水生產系統。

本發明的技術方案如下：

一種超純水生產系統，其由以下設備組成：

原水箱；

預處理裝置；所述預處理裝置通過原水泵與所述原水箱連通；

一級反滲透處理裝置；所述一級反滲透處理裝置與所述預處理裝置通過第一高壓泵連通；

一級純水箱，所述一級純水箱與所述一級反滲透處理裝置的出水管路連通；

二級反滲透處理裝置，所述二級反滲透處理裝置與所述一級純水箱通過第二高壓泵連通；

EDI處理裝置，所述EDI處理裝置與所述二級反滲透處理裝置直接連通；以及

超純水箱，所述超純水箱與所述EDI處理裝置的出水管路連通。

其中，所述一級反滲透處理裝置包括一級一段反滲透膜堆和一級二段反滲透膜堆，所述一級一段反滲透膜堆的濃水出口與所述一級二段反滲透膜堆的進水口連通。

其中，所述一級一段反滲透膜堆和所述一級二段反滲透膜堆的膜的數量比為2:1。

其中，所述二級反滲透處理裝置包括二級一段反滲透膜堆和二級二段反滲透膜堆，所述二級一段反滲透膜堆的濃水出口與所述二級二段反滲透膜堆的進水口連通。

其中，所述二級一段反滲透膜堆和所述二級二段反滲透膜堆的膜的數量比為3:1。

其中，所述超純水系統還包括安裝專用機架，所述安裝專用機架包括：

第一水平支架，所述第一水平支架為由第一邊橫桿、第一邊豎桿、第二邊橫桿和第二邊豎桿首尾依次連接形成的矩形框架；

第二水平支架，所述第二水平支架為由第三邊橫桿、第三邊豎桿、第四邊橫桿和第四邊豎桿首尾依次連接形成的矩形框架，所述第二水平支架位于所述第一水平支架的上方，且所述第二水平支架的框架面積小于所述第一水平支架的框架面積；以及

四根垂直豎桿，所述四根垂直豎桿的一端固定在所述第二水平支架的角上；所述四根垂直豎桿的另一端固定在所述第一水平支架上；

其中所述一級反滲透處理裝置和所述二級反滲透處理裝置平行排列固定在所述第一水平支架和所述第二水平支架之間。

進一步的，所述第一高壓泵、第二高壓泵、一級純水箱和所述EDI處理裝置均安裝在所述一級反滲透處理裝置和二級反滲透處理裝置的側面。

進一步的，在所述第一水平支架上還設置有若干中間橫桿和中間豎桿，所述第一高壓泵、第二高壓泵和所述EDI處理裝置通過所述中間橫桿和/或中間豎桿安裝在所述第一水平支架上。

進一步的，在所述第一水平支架的上方還設置有第三水平支架，所述第三水平支架與所述第二水平支架在所述水平面上的投影互不干涉，所述一級純水箱安裝在所述第三水平支架上。

進一步的，所述預處理裝置包括依次連通的多介質過濾器、活性炭過濾器、軟化器和精密過濾器。

本發明的有益效果是：