[發(fā)明專利]一種多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置及工藝

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710016760.5
• 申請(qǐng)日: 2017-01-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106731611A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡小東;姜希猛;崔明現(xiàn);賈曦;張東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 樂(lè)山職業(yè)技術(shù)學(xué)院;樂(lè)山太陽(yáng)能研究院;四川友新能拓科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/78
• 分類號(hào): B01D53/78;B01D53/00;C01B33/107;F28B1/02;F28C3/08
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置，其特征在于，包括廢氣冷凝回收罐、廢氣淋洗塔A、廢氣淋洗塔B、堿液池和液封水槽，所述的廢氣冷凝回收罐串接在用于廢氣匯總的廢氣管中，廢氣管末端連接所述的廢氣淋洗塔A，廢氣淋洗塔A的底部設(shè)置在堿液池中，廢氣淋洗塔A通過(guò)連通管連接廢氣淋洗塔B，廢氣淋洗塔B的底部設(shè)置在堿液池中，廢氣淋洗塔B通過(guò)排氣管連接設(shè)置在液封水槽的放空管；所述的堿液池還通過(guò)堿液管分別連接至廢氣淋洗塔A和廢氣淋洗塔B的底部，并在堿液管管路中設(shè)置有堿液泵；

所述的廢氣淋洗塔A的反應(yīng)區(qū)設(shè)置有余熱利用機(jī)構(gòu)，所述的余熱利用機(jī)構(gòu)的一端設(shè)置有進(jìn)水口，另外一端設(shè)置有出水口，進(jìn)水口與流入冷水的水泵、水管連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置，其特征在于，所述的余熱利用機(jī)構(gòu)包括包裹在廢氣淋洗塔A的反應(yīng)區(qū)和封頭的外層的保溫層，廢氣淋洗塔A的反應(yīng)區(qū)采用夾套結(jié)構(gòu)，夾套的底部設(shè)有所述的進(jìn)水口，頂部設(shè)有所述的出水口，進(jìn)水口與出水口通過(guò)導(dǎo)流槽連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置，其特征在于，所述的余熱利用機(jī)構(gòu)包括包裹在廢氣淋洗塔A的反應(yīng)區(qū)和封頭的外層的保溫層，廢氣淋洗塔A的反應(yīng)區(qū)內(nèi)部設(shè)置有若干根換熱管，換熱管的底部設(shè)有所述的進(jìn)水口，換熱管的頂部設(shè)置有所述的出水口。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置，其特征在于，所述的液封水槽中的放空管采用蛇形曲管結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅廢氣處理及余熱利用裝置，其特征在于，所述的廢氣淋洗塔A的頂部設(shè)置有用于通入保護(hù)N2的N2管道。

6.一種多晶硅廢氣處理與余熱利用工藝，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一，多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣匯總到廢氣管后，進(jìn)入廢氣冷凝回收罐，采用低溫介質(zhì)對(duì)廢氣冷凝罐進(jìn)行冷卻，從控制壓力在0.3～0.5MPa范圍內(nèi)，溫度-15℃以下，使99％以上的氯硅烷冷凝為液體并回收利用；

步驟二，殘余廢氣進(jìn)入廢氣冷凝塔A中，同時(shí)，堿液泵將堿液池中的堿液通過(guò)堿液管輸送至廢氣淋洗塔A和廢氣淋洗塔B的頂部，廢氣在廢氣淋洗塔A的反應(yīng)區(qū)中與堿液充分混合并發(fā)生劇烈反應(yīng)，反應(yīng)生成的固液混合物和未反應(yīng)完全的堿液經(jīng)廢氣淋洗塔A的底部流入到堿液池中；反應(yīng)生成的氣體和未反應(yīng)完全的廢氣通入到廢氣淋洗塔B中；

步驟三，在廢氣淋洗塔B中廢氣與堿液發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)物和過(guò)量的堿液經(jīng)廢氣淋洗塔B的底部進(jìn)入堿液池中，未參與反應(yīng)的氣體通過(guò)排氣管進(jìn)入盛放在液封水槽中的放空管，然后排入空氣中；

步驟四，廢氣淋洗塔A在反應(yīng)時(shí)產(chǎn)生的熱量傳遞至設(shè)置在廢氣淋洗塔A的反應(yīng)區(qū)的余熱利用機(jī)構(gòu)中，冷水經(jīng)過(guò)水泵、水管流入余熱利用機(jī)構(gòu)的進(jìn)水口，吸收熱量后，從出水口流出，熱水回收利用。