[發明專利]電容式液態金屬加速度傳感器在審
| 申請號： | 201710011336.1 | 申請日： | 2017-01-06 |
| 公開（公告）號： | CN106771363A | 公開（公告）日： | 2017-05-31 |
| 發明（設計）人： | 張旭東;鄧中山;劉靜 | 申請（專利權）人： | 云南科威液態金屬谷研發有限公司 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司11002 | 代理人： | 湯財寶 |
| 地址： | 655400 云南省曲*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容 液態 金屬 加速度 傳感器 | ||
1.一種電容式液態金屬加速度傳感器，其特征在于，包括：
固定極板、液態金屬極板、電介質層、第一電極和第二電極，所述固定極板和所述液態金屬極板相對放置且中間設置有電介質層；
所述第一電極位于所述固定極板遠離所述液態金屬極板的一側，所述第二電極位于所述液態金屬極板遠離所述固定極板的一側，且所述第一電極與所述第二電極相對設置；
所述液態金屬極板包括平板腔體和位于平板腔體內的液態金屬；所述第二電極一端伸出所述液態金屬極板外，另一端向所述平板腔體內伸出第一預設長度，與平板腔體內的液態金屬接觸。
2.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述第二電極與液態金屬接觸的一端的材料為金、銀、鈦、鎳或石墨。
3.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述第一預設長度為所述液態金屬極板厚度的1/5～1/10。
4.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述平板腔體為真空腔體。
5.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述液態金屬為導電率滿足預設條件且熔點低于預設熔點的金屬或其合金。
6.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述液態金屬為汞、鎵、鎵基合金、銦基合金或鉍基合金。
7.根據權利要求1～6任一項所述的傳感器，其特征在于，所述液態金屬占所述平板腔體內部體積的1/2～2/3。
8.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述固定極板和所述液態金屬極板均通過粘結劑與所述電介質層粘連。
9.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述固定極板、電介質層以及所述液態金屬極板通過固定夾固定在一起。
10.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述固定極板為石墨、金屬或導電聚合物極板。
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