[發(fā)明專利]測量儀及測量方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710011277.8
• 申請(qǐng)日: 2017-01-06
• 公開（公告）號(hào): CN108278977B
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 談順毅;邱家鋮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海慧希電子科技有限公司;邱家鋮
• 主分類號(hào): G01B11/24
• 分類號(hào): G01B11/24
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 駱希聰

1.一種測量儀，包括光發(fā)生模塊、光信號(hào)接收模塊和光路系統(tǒng)，其特征在于，還包括：控制模塊和空間光調(diào)制模塊；

所述光發(fā)生模塊產(chǎn)生入射光束并將所述入射光束輸入所述光路系統(tǒng)；

所述光路系統(tǒng)將所述入射光束傳輸至所述空間光調(diào)制模塊和待測物體；

所述空間光調(diào)制器接收來自所述控制模塊的第一調(diào)制信號(hào)，和所述入射光束，產(chǎn)生第一調(diào)制光束，并將所述第一調(diào)制光束輸入所述光路系統(tǒng)；

所述光路系統(tǒng)接收所述第一調(diào)制光束和返回自所述待測物體的參考光束，并傳輸至所述光信號(hào)接收模塊；

所述光信號(hào)接收模塊接收所述第一調(diào)制光束和所述參考光束，生成測量數(shù)據(jù)并傳輸至所述控制模塊；

所述控制模塊根據(jù)所述測量數(shù)據(jù)，生成第二調(diào)制信號(hào),并將所述第二調(diào)制信號(hào)作為新的第一調(diào)制信號(hào)，并再次接收所述測量數(shù)據(jù)；

其中，所述控制模塊中還儲(chǔ)存有至少一個(gè)吻合信號(hào)，所述控制模塊將所述測量數(shù)據(jù)與所述吻合信號(hào)比較；

當(dāng)所述測量數(shù)據(jù)與所述吻合信號(hào)不匹配時(shí)，產(chǎn)生第二調(diào)制光束并將所述第二調(diào)制信號(hào)作為新的第一調(diào)制信號(hào)，并再次接收所述測量數(shù)據(jù)；

當(dāng)所述測量數(shù)據(jù)與所述吻合信號(hào)匹配時(shí)，所述控制模塊不生成第二調(diào)制信號(hào)。

2.如權(quán)利要求1所述的測量儀，其特征在于：所述光路系統(tǒng)包括光學(xué)系統(tǒng)包含第一透鏡子系統(tǒng)、第二透鏡子系統(tǒng)和合路子系統(tǒng)；

其中合路子系統(tǒng)將所述入射光束傳輸至所述空間光調(diào)制模塊和所述待測物體，并將第一調(diào)制光束和參考光束傳輸至所述光信號(hào)接收模塊；

所述第一透鏡子系統(tǒng)根據(jù)所述空間光調(diào)制器的尺寸匹配所述合路子系統(tǒng)傳輸至空間光調(diào)制模塊的入射光束；

所述第二透鏡子系統(tǒng)根據(jù)所述光信號(hào)接收模塊的尺寸匹配所述第一調(diào)制光束和參考光束。

3.如權(quán)利要求1所述的測量儀，其特征在于：所述控制模塊接收并處理所述測量數(shù)據(jù)，并根據(jù)所述處理后的測量數(shù)據(jù)計(jì)算出修正信息；

所述控制模塊根據(jù)所述修正信息和所述第一調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生第二調(diào)制信號(hào)。

4.如權(quán)利要求3所述的測量儀，其特征在于：所述控制模塊對(duì)所述數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)處理，預(yù)處理包括對(duì)所述數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)變換；

所述數(shù)學(xué)變換包括濾除所述數(shù)據(jù)中的特定頻域信息。

5.如權(quán)利要求3所述的測量儀，其特征在于：所述控制模塊中儲(chǔ)存有多個(gè)預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)模式，所述控制模塊判斷所述處理后的所述測量數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)模式；

根據(jù)所述預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)模式生成所述處理后的所述測量數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的參數(shù)，并根據(jù)所述參數(shù)產(chǎn)生修正信息。

6.如權(quán)利要求1所述的測量儀，其特征在于：所述控制模塊中還包括一個(gè)迭代次數(shù)存儲(chǔ)器，和一個(gè)迭代上限，所述控制模塊接收到所述測量數(shù)據(jù)時(shí)，將所述迭代次數(shù)與所述迭代上限比較，

當(dāng)所述迭代次數(shù)小于所述迭代上限時(shí)，所述控制模塊根據(jù)所述測量數(shù)據(jù)，生成第二調(diào)制信號(hào)，將所述第二調(diào)制信號(hào)作為新的第一調(diào)制信號(hào)，再次接收所述測量數(shù)據(jù)，并累加所述迭代次數(shù)存儲(chǔ)器中儲(chǔ)存的迭代次數(shù)；

當(dāng)所述迭代次數(shù)等于所述迭代上限時(shí)所述控制模塊不生成第二調(diào)制信號(hào)。

7.如權(quán)利要求1所述的測量儀，其特征在于：

測量具有已知理想?yún)?shù)的待測物體時(shí)，所述控制模塊根據(jù)所述待測物體的理想?yún)?shù)產(chǎn)生第一調(diào)制信號(hào)；

測量未知形狀的待測物體時(shí)，所述控制模塊接收外部輸入信息，并根據(jù)所述輸入信息產(chǎn)生第一調(diào)制信號(hào)。

8.如權(quán)利要求1所述的測量儀，其特征在于：所述光路系統(tǒng)還包括調(diào)節(jié)系統(tǒng)，所述調(diào)節(jié)系統(tǒng)與所述控制模塊連接，并根據(jù)所述控制模塊發(fā)出的移動(dòng)信號(hào)移動(dòng)所述待測物體或移動(dòng)光路系統(tǒng)。

9.如權(quán)利要求1所述的測量儀，其特征在于：所述控制模塊根據(jù)一次或多次獲得的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算后得出測量結(jié)果。