[發明專利]OLED器件的制作方法在審
| 申請號： | 201710011156.3 | 申請日： | 2017-01-06 |
| 公開（公告）號： | CN106654066A | 公開（公告）日： | 2017-05-10 |
| 發明（設計）人： | 尤娟娟 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L51/56 | 分類號： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京安信方達知識產權代理有限公司11262 | 代理人： | 韓輝峰,李丹 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | oled 器件 制作方法 | ||
1.一種OLED器件的制作方法，其特征在于，在真空環境下，對OLED器件中的一個或者多個有機膜層進行微波共振除水。
2.根據權利要求1所述的OLED器件的制作方法，其特征在于，所述有機膜層包括電子阻擋層和發光層；
沉積所述電子阻擋層，通過微波對沉積的所述電子阻擋層進行除水；
在進行微波除水后的所述電子阻擋層上沉積所述發光層，并通過微波對沉積的所述發光層進行除水。
3.根據權利要求2所述的OLED器件的制作方法，其特征在于，所述有機膜層還包括空穴注入層和空穴傳輸層；
所述空穴注入層沉積在基板上，所述空穴傳輸層沉積在所述空穴注入層上，所述電子阻擋層沉積在所述空穴傳輸層上。
4.根據權利要求3所述的OLED器件的制作方法，其特征在于，在進行微波除水后的所述發光層上依次沉積空穴阻擋層、電子傳輸層、電子注入層和金屬電極。
5.根據權利要求3所述的OLED器件的制作方法，其特征在于，所述基板的材質為ITO。
6.根據權利要求2所述的OLED器件的制作方法，其特征在于，微波的頻率為2.45×109Hz。
7.根據權利要求2所述的OLED器件的制作方法，其特征在于，微波的作用時間為1～10min。
8.根據權利要求1至7中任一項所述的OLED器件的制作方法，其特征在于，所述OLED器件包括依次連接在一起的多個。
9.根據權利要求8所述的OLED器件的制作方法，其特征在于，相鄰所述OLED器件之間通過電荷生成層連接在一起。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件；專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的；具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射；專門適用于將這些輻射能轉換為電能，或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的，如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇
