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[發明專利]一種具有梯度功能的扇形組合式研拋盤在審

專利信息
申請號: 201710010649.5 申請日: 2017-01-06
公開(公告)號: CN107053030A 公開(公告)日: 2017-08-18
發明(設計)人: 金明生;康杰;文東輝;潘燁;張利 申請(專利權)人: 浙江工業大學
主分類號: B24D13/14 分類號: B24D13/14;B24B37/22;B24B37/24;B24B37/26
代理公司: 杭州浙科專利事務所(普通合伙)33213 代理人: 吳秉中
地址: 310014 浙江省*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 具有 梯度 功能 扇形 組合式 研拋盤
【權利要求書】:

1.一種具有梯度功能的扇形組合式研拋盤,其特征在于:包括研拋盤基座、將研拋盤本體分割成的一級扇形模塊和二級扇形模塊,所有的一級扇形模塊和二級扇形模塊形成具有多個梯度的等級庫,等級庫內一級扇形模塊和二級扇形模塊均具有彈性模量從加工需求最低的彈性模量到加工要求最高的彈性模量的多組,由數個一級扇形模塊和數個二級扇形模塊組合拼接在研拋盤基座上形成完整的研拋盤。

2.根據權利要求1所述的一種具有梯度功能的扇形組合式研拋盤,其特征在于:上述任意一個一級扇形模塊或二級扇形模塊在徑向上劃分成若干彈性模量不同的環形區域。

3.根據權利要求1所述的一種具有梯度功能的扇形組合式研拋盤,其特征在于:上述任意一個一級扇形模塊或二級扇形模塊均由若干層粘磨層堆積而成,且每層粘磨層的彈性模量均不相同。

4.根據權利要求2或3所述的一種具有梯度功能的扇形組合式研拋盤,其特征在于:所述二級扇形模塊分割成若干三級扇形模塊,所有的三級扇形模塊并入所述等級庫內形成更加細化的等級庫,所述三級扇形模塊的彈性模量在徑向或軸向呈現出彈性模量的梯度式分布。

5.根據權利要求4所述的一種具有梯度功能的扇形組合式研拋盤,其特征在于:所述等級庫內所有一級扇形模塊的大小尺寸完全相同,所有二級扇形模塊的大小尺寸完全相同,所有三級扇形模塊的大小尺寸完全相同。

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