[發(fā)明專利]強激光焦斑均勻性在線監(jiān)測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710007396.6
• 申請日: 2017-01-05
• 公開（公告）號: CN106872144B
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李靜;高智星;胡鳳明;陸澤
• 申請（專利權(quán)）人: 中國原子能科學(xué)研究院
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種強激光焦斑均勻性在線監(jiān)測方法，其特征在于該強激光焦斑均勻性在線監(jiān)測方法包括以下步驟：

(一)在待監(jiān)測激光系統(tǒng)打靶光路前端的每一路中設(shè)置一個楔形分束鏡，且各楔形分束鏡的光學(xué)性能均相同；

(二)設(shè)置與所述打靶光路所采用的光學(xué)系統(tǒng)完全相同的監(jiān)測光學(xué)系統(tǒng)；

(三)通過調(diào)整所述監(jiān)測光學(xué)系統(tǒng)的方位以及每一個楔形分束鏡的方位，由打靶光路中分離出監(jiān)測光路，并使所述監(jiān)測光路的結(jié)構(gòu)與各楔形分束鏡之后的打靶光路的結(jié)構(gòu)基本相同；

(四)在所述監(jiān)測光路的焦斑處放置CCD圖像傳感器，并將所述CCD圖像傳感器與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)相連接；

(五)在所述監(jiān)測光路的焦斑前設(shè)置一塊第一衰減片，在非放大狀態(tài)下開啟待監(jiān)測激光系統(tǒng)，調(diào)整所述第一衰減片的位置使所述監(jiān)測光路的各路激光均能通過所述第一衰減片，并將其位置固定在光路系統(tǒng)中，所述第一衰減片的透過率應(yīng)在待監(jiān)測激光系統(tǒng)處于非放大狀態(tài)時滿足所述CCD圖像傳感器的感光要求；

(六)根據(jù)所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)輸出的焦斑圖像數(shù)據(jù)對所述監(jiān)測光學(xué)系統(tǒng)進行精確調(diào)整，以使所述監(jiān)測光路的焦斑精確聚焦，此時所述監(jiān)測光路的結(jié)構(gòu)與楔形分束鏡之后的打靶光路在結(jié)構(gòu)上達到完全相同；

(七)以外形尺寸與所述第一衰減片完全相同的第二衰減片代替所述第一衰減片，并將所述第二衰減片置于所述第一衰減片原來的位置，所述第二衰減片的透過率應(yīng)在待監(jiān)測激光系統(tǒng)處于放大狀態(tài)時滿足所述CCD圖像傳感器的感光要求；

(八)在待監(jiān)測激光系統(tǒng)正常工作狀態(tài)下進行在線監(jiān)測，由所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)直接獲取焦斑均勻性在線監(jiān)測數(shù)據(jù)。

2.如權(quán)利要求1所述的強激光焦斑均勻性在線監(jiān)測方法，其特征在于：步驟(五)中，若直接移除所述第一衰減片，所述CCD圖像傳感器仍可正常感光而不發(fā)生損壞，則以外形尺寸與所述第一衰減片完全相同的白片代替所述第一衰減片，并將所述白片置于所述第一衰減片原來的位置。

3.如權(quán)利要求1所述的強激光焦斑均勻性在線監(jiān)測方法，其特征在于：所述楔形分束鏡雙面鍍有增透膜。

4.如權(quán)利要求1-3任一項所述的強激光焦斑均勻性在線監(jiān)測方法，其特征在于：所述楔形分束鏡的材質(zhì)為熔石英。