[發明專利]微單殼體諧振器

在審

• 申請號: 201710007271.3
• 申請日: 2017-01-05
• 公開（公告）號: CN106849899A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 尚金堂;羅斌
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/10;H03H9/24;B81B3/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙)32249
• 代理人: 陳國強

1.一種微單殼體諧振器，其特征在于：包括：

封裝殼蓋；

微單殼體諧振子；

平面電極；

帶有多個導電通孔的復合結構基底；

其中，所述微單殼體諧振子由單殼體、位于單殼體內部中心軸處的單端柱組成，所述單端柱的底部與單殼體邊沿的底部齊平；所述單端柱的底部通過一層導電粘附層與復合結構基底中的一個導電通孔連接引出；所述復合結構基底上有平面電極，所述平面電極通過位于其下方的導電通孔引出；所述導電通孔在復合結構基底背面通過導電引出層引出；所述封裝殼蓋與帶有多個導電通孔的復合結構基底封裝，其內部為真空，內部放置有吸氣劑。

2.如權利要求1所述的微單殼體諧振器，其特征在于：所述微單殼體諧振子的材質為無定形材料、鐵鎳合金、氧化物的一種；所述微單殼體諧振子的材質為不導電材料時，微單殼體諧振子的內表面覆蓋有或部分覆蓋有導電層。

3.如權利要求1或2所述的微單殼體諧振器，其特征在于：所述微單殼體諧振子的單殼體邊沿有緣邊；所述緣邊上有調制層。

4.如權利要求1所述的微單殼體諧振器，其特征在于：所述微單殼體諧振子在復合結構基底上的投影區域在平面電極內邊沿和外邊沿之間。

5.如權利要求1所述的微單殼體諧振器，其特征在于：所述復合結構基底由導電通孔部分、電隔離部分和主體部分組成。

6.如權利要求1所述的微單殼體諧振器，其特征在于：所述平面電極包括一般工作電極；所述一般工作電極包括偶數個驅動電極、偶數個檢測電極；所述驅動電極和檢測電極為扇形圓環，并中心對稱。

7.如權利要求6所述的微單殼體諧振器，其特征在于：所述平面電極還包括一個環形激勵電極。

8.如權利要求6所述的微單殼體諧振器，其特征在于：所述平面電極還包括一個或多個隔離電極。

9.如權利要求1所述的微單殼體諧振器，其特征在于：所述封裝殼蓋與復合結構基底直接鍵合或通過一層中間層鍵合實現真空封裝。

10.如權利要求1所述的微單殼體諧振器，其特征在于：所述微單殼體諧振子與復合結構基底之間的間距均勻。