[發(fā)明專利]用于蝕刻室的快速阻抗切換的變壓器耦合電容性調(diào)諧電路

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710006522.6
• 申請日: 2017-01-05
• 公開（公告）號: CN106960776B
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龍茂林;亞歷克斯·帕特森
• 申請（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所 31263
• 代理人: 樊英如;包孟如

1.一種用于感應(yīng)耦合等離子體(ICP)室的變壓器耦合電容性調(diào)諧(TCCT)電路，其包括：

匹配電路，其包括：

第一開關(guān)電容器電路和第一電感器，其中所述第一開關(guān)電容器電路包括：

連接至RF輸入的第一端子；

第二端子；

第一電容器，其連接到所述第一端子和所述第二端子中的至少一個(gè)；

第二電容器，其連接到所述第一端子和所述第二端子中的至少一個(gè)；以及

第一開關(guān)，其與所述第一電容器和所述第二電容器中的至少一個(gè)通信，以改變所述第一端子和所述第二端子之間的電容值；和

第二開關(guān)電容器電路，其包括：

第三端子，其連接到所述第一開關(guān)電容器電路的所述第二端子；

連接到所述第一電感器的第四端子；

連接到所述第三端子和所述第四端子中的至少一個(gè)的第三電容器；

連接到所述第三端子和所述第四端子中的至少一個(gè)的第四電容器；以及

第二開關(guān)，其與所述第三電容器和所述第四電容器中的至少一個(gè)通信，以改變所述第三端子和所述第四端子之間的電容值；并且

所述TCCT電路還包括：

第五電容器，其中所述第五電容器的第一端子連接所述第一開關(guān)電容器電路的所述第二端子和所述第二開關(guān)電容器電路的所述第三端子，并且其中所述第五電容器的所述第二端子接地；和

功率分配器，其與所述匹配電路和所述ICP室的感應(yīng)線圈通信，

其中所述功率分配器至少包括一個(gè)可變電容器，

所述變壓器耦合電容性調(diào)諧(TCCT)電路還包括控制器，其配置為在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間切換所述第一開關(guān)，以在介于10Hz和1kHz之間的頻率改變所述電容值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TCCT電路，其中所述第一電容器和所述第二電容器包括電動(dòng)機(jī)控制的真空電容器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TCCT電路，其中所述第三電容器和所述第四電容器包括電動(dòng)機(jī)控制的真空電容器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TCCT電路，其中：

所述第一電容器連接到所述第一開關(guān)電容器電路的所述第一端子，

所述第二電容器連接到所述第一開關(guān)電容器電路的所述第一端子，并且

所述第一開關(guān)連接在所述第一開關(guān)電容器電路的所述第二端子和所述第一電容器之間；以及

所述第一開關(guān)電容器電路還包括第三開關(guān)，所述第三開關(guān)其連接在所述第一開關(guān)電容器電路的所述第二端子和所述第二電容器之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TCCT電路，其中：

所述第一電容器連接到所述第一開關(guān)電容器電路的所述第一端子，

所述第二電容器連接到所述第一開關(guān)電容器電路的所述第一端子和所述第二端子，并且

所述第一開關(guān)連接在所述第一開關(guān)電容器電路的所述第二端子和所述第一電容器之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TCCT電路，其中：

所述第三電容連接到所述第二開關(guān)電容器電路的所述第四端子，

所述第四電容器連接到所述第二開關(guān)電容器電路的所述第四端子，并且

所述第二開關(guān)連接在所述第二開關(guān)電容器電路的所述第三端子和所述第三電容器之間；以及

所述第二開關(guān)電容器電路還包括連接在所述第二開關(guān)電容器電路的所述第三端子和所述第四電容器之間的第三開關(guān)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TCCT電路，其中：

所述第三電容器連接到所述第二開關(guān)電容器電路的所述第四端子，

所述第四電容器連接到第二開關(guān)電容器電路的所述第三端子和所述第四端子，并且

所述第二開關(guān)連接在所述第二開關(guān)電容器電路的所述第三端子和所述第三電容器之間。