[發明專利]一種使用太赫茲脈沖測量材料參數和材料厚度的方法

在審

• 申請號: 201710005046.6
• 申請日: 2017-01-04
• 公開（公告）號: CN106841095A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 張景;李糧生;殷紅成;肖志河
• 申請（專利權）人: 北京環境特性研究所
• 主分類號: G01N21/3586
• 分類號: G01N21/3586;G01B11/06
• 代理公司: 北京君恒知識產權代理事務所(普通合伙)11466
• 代理人: 黃啟行,張璐

1.一種使用太赫茲脈沖測量材料參數和材料厚度的方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

A、將測量得到的不含樣品信息的太赫茲脈沖作為參考信號；

B、將測量得到的含有樣品信息的太赫茲脈沖作為樣品信號；

C、從樣品信號中提取第p次回波信號，其中，p為大于或等于0的整數；

D、獲取第p次回波信號的透射系數的實驗值；

E、測量得到樣品厚度L的測量值L′；

F、建立主峰/回波透射模型；

G、根據主峰/回波透射模型和樣品厚度的測量值L′，計算得到對應于測量值L′的第p次回波對應的透射系數計算值；

H、根據樣品信號中的主峰，計算得到透射系數的實驗值和計算值的最小差值所對應的第一材料電磁參數；根據樣品信號中的第p次回波，計算得到透射系數的實驗值和計算值的最小差值所對應的第二材料電磁參數；

I、根據第一材料電磁參數和第二材料電磁參數得到材料參數總差值函數；

J、判斷材料參數總差值函數是否滿足預設條件，如果是，則執行步驟K；否則，修改樣品厚度，返回執行步驟G；

K、將材料參數總差值函數所對應的樣品厚度作為樣品精確厚度，代入主峰/回波透射模型，得到對應于樣品厚度L的主峰對應的透射系數的計算值

L、根據計算得到最小值對應的樣品復折射率的實部和虛部，其中，為主峰對應的透射系數的實驗值。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，無樣品時太赫茲脈沖的參考信號為：

${\tilde{E}}_{ref}^{cal}\left(\mathrm{\ω}\right)=E_{init}{P}_0;$

其中，為參考信號，ω為頻率，P₀為相移因子。