[發明專利]等離子體空間特性診斷裝置

有效

• 申請號: 201710004694.X
• 申請日: 2017-01-04
• 公開（公告）號: CN106714433B
• 公開（公告）日: 2023-09-15
• 發明（設計）人: 陳果;何小珊;王濤;何智兵;劉艷松;李俊;張玲
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: H05H1/00
• 分類號: H05H1/00
• 代理公司: 成都虹橋專利事務所(普通合伙) 51124
• 代理人: 許澤偉

1.等離子體空間特性診斷裝置，其特征在于：包括等離子體發生器(1)、波紋管(5)和檢測裝置，等離子體發生器(1)內具有密封的等離子體形成腔(2)，檢測裝置包括檢測探針(3)和探針安裝平臺(4)，檢測探針(3)安裝在探針安裝平臺(4)上，等離子體發生器(1)設有貫穿的檢測孔(6)，波紋管(5)的一端與檢測孔(6)連接，檢測探針(3)安裝在波紋管(5)的另一端，檢測探針(3)的檢測端(31)穿過波紋管(5)后深入至等離子體形成腔(2)內；

探針安裝平臺(4)可帶動檢測探針(3)升降移動和/或轉動，探針安裝平臺(4)包括升降機構(41)，升降機構包括底座(411)、安裝平臺(412)、支架(413)和驅動件(414)；支架(413)固定的安裝在底座(411)上，安裝平臺(412)樞接于支架(413)，驅動件(414)可驅動安裝平臺(412)轉動，驅動件(414)包括上調節桿(4141)、下調節桿(4142)和調節螺母(4143)，上調節桿(4141)的上端固定在安裝平臺(412)上，下調節桿(4142)的下端固定在底座(411)上，上調節桿(4141)與下調節桿(4142)同軸，上調節桿(4141)的下端和下調節桿(4142)的上端分別設有旋向相反的螺紋，調節螺母(4143)同時與上調節桿(4141)的下端和下調節桿(4142)的上端螺紋連接；

探針安裝平臺(4)可帶動檢測探針(3)沿檢測探針(3)的軸向移動，探針安裝平臺(4)包括平移機構(42)，平移機構(42)包括安裝板(421)、滑軌(422)、驅動機構(423)和探針安裝座(424)；探針安裝座(424)可沿滑軌(422)移動地安轉在滑軌上，驅動機構(423)可驅動探針安裝座(424)在滑軌(422)上往復移動，檢測探針(3)安裝在探針安裝座(424)上，驅動機構(423)包括驅動電機(4231)、絲桿(4232)和固定螺母(4233)，固定螺母(4233)固定地安裝在探針安裝座(424)上，固定螺母(4233)與絲桿(4232)螺紋配合地套在絲桿(4232)上，驅動電機(4231)固定安裝在安裝板(421)上，驅動電機(4231)可驅動絲桿(4232)轉動。

2.如權利要求1所述的等離子體空間特性診斷裝置，其特征在于：檢測探針(3)包括四極質譜儀和/或Langmuir探針；同時設置四極質譜儀和Langmuir探針時，四極質譜儀和Langmuir探針分別安裝在一個探針安裝平臺(4)上。

3.如權利要求2所述的等離子體空間特性診斷裝置，其特征在于：同時設置四極質譜儀和Langmuir探針時，四極質譜儀和Langmuir探針呈鏡像對稱設置。