[發明專利]一種超低阻硅靶材的生產方法有效
| 申請號： | 201710004519.0 | 申請日： | 2017-01-04 |
| 公開（公告）號： | CN106676486B | 公開（公告）日： | 2021-05-07 |
| 發明（設計）人： | 張磊;顧正;張曉峰;郭校亮;陳良杰 | 申請（專利權）人： | 青島藍光晶科新材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C30B28/06;C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 大連理工大學專利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 262200 山東省青島市即墨市藍色*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 超低阻硅靶材 生產 方法 | ||
【權利要求書】：
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