[發(fā)明專利]一種改進(jìn)型靶材爐設(shè)備及靶材邦定方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710004218.8
• 申請(qǐng)日: 2017-01-04
• 公開（公告）號(hào): CN106735670A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張磊;顧正;張曉峰;郭校亮;陳良杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島藍(lán)光晶科新材料有限公司
• 主分類號(hào): B23K1/008
• 分類號(hào): B23K1/008;B23K3/00
• 代理公司: 大連理工大學(xué)專利中心21200
• 代理人: 梅洪玉

1.一種改進(jìn)型靶材爐設(shè)備，其特征在于：爐體(1)的一側(cè)設(shè)置爐門(2)，爐體(1)內(nèi)設(shè)置加熱基臺(tái)(3)，加熱基臺(tái)(3)內(nèi)設(shè)有用于控溫的加熱裝置和溫度檢測(cè)儀，加熱基臺(tái)(3)上連接用于放置靶材(5)的靶材基板(4)，靶材基板(4)的正上方設(shè)置有加壓板(6)，加壓板(6)的上端連接位于爐體(1)外的手動(dòng)加壓閥(8)，爐體(1)內(nèi)部與外置的真空泵(7)連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)型靶材爐設(shè)備，其特征在于：所述加壓板(6)的長(zhǎng)度與寬度分別不小于靶材基板(4)的長(zhǎng)度與寬度，加壓板(6)的材質(zhì)為不銹鋼、鋁、聚四氟乙烯、銅中的一種或幾種組合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)型靶材爐設(shè)備，其特征在于：所述手動(dòng)加壓閥(8)為兩個(gè)，手動(dòng)加壓閥(8)的下端分別連接于加壓板(6)的兩端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)型靶材爐設(shè)備，其特征在于：所述加熱基臺(tái)(3)與靶材基板(4)之間為螺栓連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)型靶材爐設(shè)備，其特征在于：所述加熱基臺(tái)(3)的工作溫度為150～160℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)型靶材爐設(shè)備，其特征在于：所述真空泵(7)的工作壓強(qiáng)為0.5-100Pa。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的一種改進(jìn)型靶材爐設(shè)備進(jìn)行靶材邦定方法，其特征在于：具體包括以下步驟：

1)先在靶材基板(4)上安裝模具，并進(jìn)行固定；

2)將銦球放置于模具內(nèi)并均勻鋪平；

3)將靶材(5)放置于銦球上，并與模具貼緊，固定，確保加溫加壓的過程中不會(huì)產(chǎn)生位移；

4)利用手動(dòng)加壓閥(8)下移加壓板(6)，確保加壓板(6)與靶材(5) 貼緊鎖定，關(guān)閉爐門(2)；

5)開啟真空泵(7)，設(shè)定設(shè)備的真空腔室工作壓強(qiáng)；

6)設(shè)定壓力值，使靶材基板(4)與靶材(5)之間的壓強(qiáng)始終維持在一定值，開啟升溫功能，使加熱基臺(tái)(3)升溫至一定值；

7)待溫度穩(wěn)定達(dá)到一段時(shí)間后，關(guān)閉電源，卸除加壓板(6)的壓力。

待溫度下降到一定值后破除真空，打開爐門(2)，取出焊接好的靶材進(jìn)行檢驗(yàn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種靶材邦定方法，其特征在于：所述步驟5)中真空腔的工作壓強(qiáng)為0.5-100Pa。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種靶材邦定方法，其特征在于：所述步驟6)中靶材基板(4)與靶材(5)之間的壓強(qiáng)始終維持在0.5-3MPa，加熱基臺(tái)(3)升溫至150-160℃。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種靶材邦定方法，其特征在于：所述步驟7)中維持溫度穩(wěn)定的時(shí)間為0.3-0.6H，破除真空的臨界溫度為110～130℃。