[發明專利]鍍膜設備

在審

• 申請號: 201710001780.5
• 申請日: 2017-01-03
• 公開（公告）號: CN106783500A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 高會朝;馮海清
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司11138
• 代理人: 滕一斌

1.一種鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜設備包括：相對設置的第一極板和第二極板，

所述第二極板靠近所述第一極板的表面設置有開口面面積大于底面面積的凹槽，所述凹槽的截面為梯形，所述截面垂直于所述開口面，所述底面用于平置待鍍膜基板。

2.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜設備還包括：滑片，所述滑片貼附在所述凹槽的側壁上，所述滑片的材質為耐高溫材質。

3.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜設備還包括：支撐針，

所述底面上設置有貫穿所述第二極板的支撐孔，所述支撐針能夠穿過所述支撐孔，且所述支撐針與所述第二極板能夠發生相對運動。

4.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，

所述第一極板上設置有貫穿所述第一極板的n個輸氣孔，所述n為大于或等于2的整數。

5.根據權利要求4所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜設備還包括n個輸氣管，

所述n個輸氣管與所述n個輸氣孔一一對應，且所述n個輸氣管中的每個輸氣管均固定套接在相對應的輸氣孔內。

6.根據權利要求5所述的鍍膜設備，其特征在于，所述第一極板為矩形板，所述n等于5，五個輸氣管包括一個第一輸氣管和四個第二輸氣管，

所述第一輸氣管的軸線經過所述第一極板的中心以及預設矩形的中心，所述四個第二輸氣管的軸線經過所述預設矩形的四個頂點，且所述四個第二輸氣管分別靠近所述第一極板的四個側棱。

7.根據權利要求6所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜設備還包括：兩個連接導體件，所述連接導體件的導電率小于所述第一極板的導電率，

所述兩個連接導體件中的每個連接導體件均呈T型，所述每個連接導體件分別連接兩個第二輸氣管和所述第一輸氣管，且所述兩個連接導體件所連接的第二輸氣管不同。

8.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜設備還包括：擴散器，所述擴散器設置在所述第一極板靠近所述第二極板的一側。

9.根據權利要求3所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜設備還包括：滾珠，

所述滾珠設置在所述支撐孔的內壁，且與所述支撐針相接觸。

10.根據權利要求3所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜設備還包括：驅動電機，

所述驅動電機與所述第二極板相連接，用于驅動所述第二極板沿垂直于所述第二極板的方向運動。