[發(fā)明專利]熱傳導(dǎo)率測定裝置、熱傳導(dǎo)率測定方法及真空度評估裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201680091087.5 | 申請日： | 2016-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN109997032B | 公開（公告）日： | 2022-07-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 長谷川壽一;后藤志宏;千葉勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 英弘精機株式會社 |
| 主分類號： | G01N25/18 | 分類號： | G01N25/18 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 金蘭 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 熱傳導(dǎo) 測定 裝置 方法 真空 評估 | ||
1.一種熱傳導(dǎo)率測定裝置，其中，包括：
熱產(chǎn)生源，配置為與熱傳導(dǎo)率的測定對象物接觸；
熱阻材料，配置為與所述熱產(chǎn)生源接觸；
至少1對示差熱電偶，測定通過從所述熱產(chǎn)生源流出熱而產(chǎn)生的所述熱阻材料的兩點間的溫度差所引起的電壓值；以及
計算裝置，計算所述示差熱電偶的輸出電壓的時間變化率，基于所計算出的所述時間變化率來計算所述測定對象物的熱傳導(dǎo)率。
2.如權(quán)利要求1所述的熱傳導(dǎo)率測定裝置，其中，
所述計算裝置使用式(1)來計算所述測定對象物的熱傳導(dǎo)率，
Y＝aX-b…(1)，
其中，在式(1)中，X是所述測定對象物的熱傳導(dǎo)率，Y是所述示差熱電偶的輸出電壓的時間變化率，a、b是常數(shù)。
3.如權(quán)利要求2所述的熱傳導(dǎo)率測定裝置，其中，
所述式(1)中的常數(shù)a、b是通過將使用2種以上的熱傳導(dǎo)率已知的材料進行測定而得到的結(jié)果代入式(1)，從而求出的值。
4.如權(quán)利要求1所述的熱傳導(dǎo)率測定裝置，其中，
所述計算裝置預(yù)先使用2種以上的熱傳導(dǎo)率已知的材料進行測定，使用根據(jù)各材料的熱傳導(dǎo)率、與在針對各材料進行測定時的所述示差熱電偶的輸出電壓的時間變化率的關(guān)系而求出的直線的表達(dá)式，計算所述測定對象物的熱傳導(dǎo)率。
5.如權(quán)利要求1～4中的任一項所述的熱傳導(dǎo)率測定裝置，其中，
所述熱傳導(dǎo)率測定裝置具有2個以上的所述示差熱電偶，各個示差熱電偶分別測定由不同的兩點間的溫度差引起的電壓值，各個示差熱電偶被串聯(lián)連接，
所述計算裝置計算被串聯(lián)連接的多個示差熱電偶的輸出的時間變化率，基于所計算出的時間變化率來計算所述測定對象物的熱傳導(dǎo)率。
6.如權(quán)利要求1～4中的任一項所述的熱傳導(dǎo)率測定裝置，其中，
在所述熱產(chǎn)生源的與所述測定對象物接觸的表面，具有吸收所述測定對象物的凹凸形狀的緩沖材料。
7.如權(quán)利要求1～4中的任一項所述的熱傳導(dǎo)率測定裝置，其中，
所述熱傳導(dǎo)率測定裝置具有用于測定因來自所述熱產(chǎn)生源的橫向的熱流而在所述熱阻材料內(nèi)部產(chǎn)生的溫度差的機構(gòu)，
所述計算裝置使用所測定出的橫向的溫度差來修正所述測定對象物的熱傳導(dǎo)率。
8.一種熱傳導(dǎo)率測定方法，其中，
控制裝置使從被配置為與熱傳導(dǎo)率的測定對象物以及熱阻材料接觸的熱產(chǎn)生源產(chǎn)生熱，
計算裝置獲取由示差熱電偶測定出的、由所述熱阻材料的兩點間的溫度差引起的電壓值，
所述計算裝置計算所述示差熱電偶的輸出電壓的時間變化率，
所述計算裝置基于所計算出的所述時間變化率，計算所述測定對象物的熱傳導(dǎo)率。
9.如權(quán)利要求8所述的熱傳導(dǎo)率測定方法，其中，
所述計算裝置使用式(1)來計算所述測定對象物的熱傳導(dǎo)率，
Y＝aX-b…(1)，
其中，在式(1)中，X是所述測定對象物的熱傳導(dǎo)率，Y是所述示差熱電偶的輸出電壓的時間變化率，a、b是常數(shù)。
10.如權(quán)利要求9所述的熱傳導(dǎo)率測定方法，其中，
所述式(1)中的常數(shù)a、b是通過將使用2種以上的熱傳導(dǎo)率已知的材料進行測定而得到的結(jié)果代入式(1)，從而求出的值。
11.如權(quán)利要求8所述的熱傳導(dǎo)率測定方法，其中，
所述計算裝置預(yù)先使用2種以上的熱傳導(dǎo)率已知的材料進行測定，使用根據(jù)各材料的熱傳導(dǎo)率、與在針對各材料進行測定時的所述示差熱電偶的輸出電壓的時間變化率的關(guān)系而求出的直線的表達(dá)式，計算所述測定對象物的熱傳導(dǎo)率。
12.一種真空度評估裝置，其中，包括：
熱產(chǎn)生源，配置為與真空度的測定對象物接觸；
熱阻材料，配置為與所述熱產(chǎn)生源接觸；
至少1對示差熱電偶，測定通過從所述熱產(chǎn)生源流出熱而產(chǎn)生的所述熱阻材料的兩點間的溫度差所引起的電壓值；
計算裝置，計算所述示差熱電偶的輸出電壓的時間變化率，基于所計算出的所述時間變化率來計算所述測定對象物的熱傳導(dǎo)率；以及
真空度評估部，基于所計算出的所述熱傳導(dǎo)率來評估所述測定對象物的真空度。
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