[發明專利]X射線產生裝置和X射線拍攝系統

有效

• 申請號: 201680090922.3
• 申請日: 2016-11-17
• 公開（公告）號: CN109983847B
• 公開（公告）日: 2023-02-17
• 發明（設計）人: 川瀬順也;安藤洋一
• 申請（專利權）人: 佳能安內華股份有限公司
• 主分類號: H05G1/08
• 分類號: H05G1/08;G02B6/44;H05G1/06;H05G1/34
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

一種X射線產生裝置(100)，其具有：X射線管(20)；驅動電路(40)，其驅動X射線管(20)；電壓產生電路(30)，其生成向X射線管(20)施加的電子加速電壓；以及控制部(50)，其與驅動電路(40)和電壓產生電路(30)進行通信，至少X射線管(20)、驅動電路(40)、以及電壓產生電路(30)配置到填充有絕緣油(80)的收納容器(10)內，在該X射線產生裝置(100)中，將驅動電路(40)和控制部(50)連接的路徑的至少一部分由配置到收納容器(10)內的光纜(60)構成，光纜(60)具有包覆層(74、76)，該包覆層(74、76)抑制電壓產生電路的驅動時產生的、因絕緣油(60)的對流而擺動的情況。

技術領域

本發明涉及一種X射線產生裝置和X射線拍攝系統。

背景技術

作為工業用的非破壞檢查裝置之一，公知有X射線拍攝系統。例如，在半導體集成電路基板所代表的電子器件的檢查中使用了具備微焦點X射線管的X射線檢查裝置。X射線管是如下X射線源：通過對陽極與陰極之間施加與X射線能量相應的預定的電位差的高電壓，使由該高電壓加速后的電子照射靶，從而從靶發出X射線。微焦點X射線管是在陰極側設置有多個柵格電極的X射線管，具備如下功能：利用施加于這些柵格電極的電壓對靜電透鏡進行控制，從而使電子束的軌道收束。

在使用了微焦點X射線管的X射線產生裝置中，出于對施加于柵格電極的電壓進行控制的必要性，對X射線管的接地方式、控制信號的供給方法等進行研究。例如，在專利文獻1所記載的X射線產生裝置中，通過設為借助光纜供給向柵格電極施加的柵格電壓的控制信號的結構，能夠對X射線管的陰極施加負的高電壓。并且，通過采用將X射線管的外殼設為接地電位、對陽極和陰極施加正、負的高電壓的中性點接地方式，將向外殼與陽極之間施加的電壓降低成約一半。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2003-317996號公報

發明內容

發明要解決的問題

出于將X射線產生裝置搭載于X射線拍攝系統之際的處理的容易性等觀點考慮，要求X射線產生裝置的小型化。另外，出于進一步的高穿透力化的觀點考慮，要求對X射線管的施加電壓的高電壓化。然而，根據本申請發明人等的研究，首先弄清楚了在X射線產生裝置的小型化、施加電壓的高電壓化的進展的同時控制系統的誤動作變多。

本發明的目的在于提供能夠抑制隨著小型化、施加電壓的高電壓化的進展而產生的控制系統的誤動作的X射線產生裝置。另外，本發明的另一目的在于提供通過使用這樣的X射線產生裝置而能夠穩定地取得拍攝圖像的可靠性較高的X射線拍攝系統。

用于解決問題的方案

根據本發明的一觀點，提供一種X射線產生裝置，該X射線產生裝置具有：X射線管；驅動電路，其驅動所述X射線管；電壓產生電路，其生成向所述X射線管施加的電子加速電壓；以及控制部，其與所述驅動電路和所述電壓產生電路進行通信，至少所述X射線管、所述驅動電路、以及所述電壓產生電路配置到填充有絕緣油的收納容器內，在該X射線產生裝置中，將所述驅動電路和所述控制部連接的路徑的至少一部分由配置到所述收納容器內的光纜構成，所述光纜具有包覆層，該抑制所述電壓產生電路的驅動時產生的、因所述絕緣油的對流而擺動的情況。