[發明專利]微發光二極管轉移方法和制造方法

有效

• 申請號: 201680090519.0
• 申請日: 2016-11-07
• 公開（公告）號: CN109923680B
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 鄒泉波
• 申請（專利權）人: 歌爾股份有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 石偉

1.一種微發光二極管轉移方法，包括：

使轉移頭的拾取單元與承載襯底上的微發光二極管接觸，其中所述拾取單元能為微發光二極管加載電流；

通過拾取單元向微發光二極管加載電流，以獲得微發光二極管的I-V特性；

基于I-V特性確定已知良好管芯的微發光二極管；以及

使用轉移頭從承載襯底向接收襯底轉移已知良好管芯的微發光二極管。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，轉移已知良好管芯的微發光二極管還包括：

通過拾取單元向已知良好管芯的微發光二極管加載電流，以加熱已知良好管芯的微發光二極管和承載襯底之間的接合層使其熔化；

利用轉移頭從所述承載襯底上拾取已知良好管芯的微發光二極管；

將已知良好管芯的微發光二極管接合到接收襯底上；以及

從已知良好管芯的微發光二極管移除所述轉移頭。

3.根據權利要求2所述的方法，其中，所述拾取單元包括轉移頭的轉移襯底上的電極和所述電極上的導電粘合劑層；

其中，通過電極和導電粘合劑層加載電流；

其中，通過所述導電粘合劑層拾取已知良好管芯的微發光二極管；以及

其中，在將所述已知良好管芯的微發光二極管接合到所述接收襯底上之后，移除所述導電粘合劑層。

4.根據權利要求3所述的方法，其中，所述導電粘合劑層是未構圖的。

5.根據權利要求3所述的方法，其中，所述導電粘合劑層是導電光刻膠層，

其中，在加熱已知良好管芯的微發光二極管與承載襯底之間的接合層期間，所述導電光刻膠層被固化；以及

其中，在所述微發光二極管接合到所述接收襯底上之后，用化學方法移除所述導電光刻膠層。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，所述轉移頭的拾取單元與所述承載襯底上的微發光二極管柔性接觸。

7.根據權利要求2所述的方法，其中，所述轉移頭的拾取單元通過靜電力或電磁力從所述承載襯底拾取已知良好管芯的微發光二極管。

8.根據權利要求1所述的方法，其中，所述轉移頭的每個拾取單元包括至少一個拾取電極和至少一個電流加載電極；

其中，所述拾取電極被電介質層包覆；

其中，金屬探針安裝在所述電流加載電極上，為承載襯底上的微發光二極管加載電流。

9.根據權利要求2所述的方法，其中，通過監測已知良好管芯的微發光二極管的I-V特性來確定已知良好管芯的微發光二極管與承載襯底之間的接合層的熔化。

10.一種用于制造微發光二極管器件的方法，包括：使用根據權利要求1-9中任何一項所述的微發光二極管轉移方法將微發光二極管轉移到所述微發光二極管器件的接收襯底上。