[發明專利]電容式MEMS麥克風以及電子設備有效
| 申請號： | 201680087525.0 | 申請日： | 2016-07-11 |
| 公開（公告）號： | CN109691135B | 公開（公告）日： | 2020-12-08 |
| 發明（設計）人： | 鄒泉波 | 申請（專利權）人： | 濰坊歌爾微電子有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 石偉 |
| 地址： | 261061 山東省濰坊市高新區新城*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容 mems 麥克風 以及 電子設備 | ||
1.一種電容式MEMS麥克風，包括：
襯底；
設置在所述襯底上的底板；
設置在所述底板上方的頂板，所述頂板與所述底板相間隔開；
其中，所述頂板能相對于第一扭轉軸進行扭轉并且被所述第一扭轉軸分為第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分與所述底板形成兩個電容器，以及第一組聲孔被設置在所述頂板的第一部分上；
其中，所述底板能相對于第二扭轉軸進行扭轉并且被所述第二扭轉軸分為第三部分和第四部分，所述第二扭轉軸與所述第一扭轉軸相對應，所述第三部分和所述第四部分分別與所述第一部分和所述第二部分相對應。
2.根據權利要求1所述的電容式MEMS麥克風，其中，所述頂板在所述第一扭轉軸的端部被設置在所述襯底上。
3.根據權利要求1所述的電容式MEMS麥克風，其中，所述底板所述第二扭轉軸的端部被設置在所述襯底上。
4.根據權利要求1所述的電容式MEMS麥克風，其中，第二組聲孔被設置在所述底板的第四部分上。
5.根據權利要求1所述的電容式MEMS麥克風，其中，相對于扭轉剛度來說，所述頂板和所述底板中的至少一個在面外移動方面具有足夠的剛度。
6.根據權利要求1所述的電容式MEMS麥克風，其中，第一電極設置在所述第一部分上，第二電極設置在第二部分上，中心電極設置在所述底板上，并且所述第一電極和所述第二電極用于提供差分感測信號。
7.根據權利要求6所述的電容式MEMS麥克風，其中，所述頂板為多晶硅，并且所述第一電極和所述第二電極通過摻雜構圖而被隔離。
8.根據權利要求1所述的電容式MEMS麥克風，其中，所述頂板和所述底板通過電介質層被設置在所述襯底上。
9.一種電子設備，包括如權利要求1-8中的任一項所述的電容式MEMS麥克風。
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