[發明專利]基板保持裝置在審
| 申請號： | 201680086344.6 | 申請日： | 2016-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN109313867A | 公開（公告）日： | 2019-02-05 |
| 發明（設計）人： | 米澤信宏 | 申請（專利權）人： | 堺顯示器制品株式會社 |
| 主分類號： | G09F9/00 | 分類號： | G09F9/00;G02F1/13;B23Q3/08 |
| 代理公司： | 北京市中倫律師事務所 11410 | 代理人： | 楊黎峰;鐘錦舜 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 中央框架 側部框架 滑動 基板保持裝置 吸附體 吸附基板 吸附保持基板 互相平行 基板彎曲 回轉 扭曲 | ||
【權利要求書】：
1.一種基板保持裝置，是吸附和保持基板的基板保持裝置，其特征在于，包括：
中央框架，所述中央框架具有吸附所述基板的吸附體；
一對側部框架，所述一對側部框架使該中央框架介于其間而分別配置在該中央框架的兩外側，各自具有吸附所述基板的吸附體；以及
連接部分，所述連接部分將所述中央框架和每個所述側部框架連接，以便能夠使二者圍繞互相平行的軸進行回轉，
所述側部框架包括滑動部分，所述滑動部分在接近和遠離所述中央框架的方向上滑動，在所述滑動部分設置有所述側部框架具有的所述吸附體。
2.根據權利要求1所述的基板保持裝置，其特征在于，隨著由所述中央框架及所述側部框架具有的吸附體所吸附的基板的彎曲，所述滑動部分在從所述中央框架分離的方向上滑動。
3.根據權利要求1或權利要求2所述的基板保持裝置，其特征在于，包括使所述側部框架圍繞所述軸回轉的回轉機構。
4.根據權利要求3所述得基板保持裝置，其特征在于，所述回轉機構包括：
氣缸，所述氣缸包括沿軸向移動的桿和可進退地容納該桿的氣缸主體；
中央框架側連接部分，所述中央框架側連接部分將所述氣缸主體可回轉地連接至所述中央框架；以及
側部框架側連接部分，所述側部框架側連接部分將所述桿可回轉地連接至所述側部框架。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的基板保持裝置，其特征在于，所述吸附體是波紋管型吸附墊。
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