[發明專利]利用電極的流體性質感測

有效

• 申請號: 201680084827.2
• 申請日: 2016-04-21
• 公開（公告）號: CN109073583B
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: M·W·坎比;陳健華;G·S·龍
• 申請（專利權）人: 惠普發展公司;有限責任合伙企業
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22;B41J2/195;G01F23/24;G01F23/26
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 佘鵬;王麗輝

1.一種流體性質感測裝置，包括：

襯底，其具有形成在其中的溝槽，所述溝槽包括底表面和相對的側表面；

第一電極，其設置在所述溝槽的第一側表面上；以及

第二電極，其設置在所述溝槽的第二側表面上；

其中，所述第一電極和所述第二電極形成電容器的金屬板，并且所述電容器構造成測量填充所述第一電極和所述第二電極之間的空間的流體的復阻抗，所述復阻抗指示所述流體的性質。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述流體是墨。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述襯底是流體儲存器的內壁。

4.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述襯底是待插入到流體儲存器中的模塊的一部分。

5.如權利要求1所述的裝置，還包括設置在所述襯底上的流體液位感測管芯。

6.如權利要求1所述的裝置，還包括電氣互連件，以輸出從所述電極收集的數據。

7.一種用于形成流體性質感測裝置的方法，包括：

在襯底中形成溝槽；

鍍覆所述溝槽的第一側表面以形成第一電極；

鍍覆所述溝槽的第二側表面以形成第二電極，所述第一電極和所述第二電極形成由所述側表面和所述側表面之間的間隙限定的電容器的金屬板；以及

將所述電極電耦接到電氣互連件。

8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二側表面和所述第一側表面與以下各項同時鍍覆，即：

所述電氣互連件；以及

將所述電極電耦接到所述電氣互連件的金屬跡線。

9.如權利要求7所述的方法，還包括將流體液位感測管芯附接到所述襯底，所述流體液位感測管芯具有設置在所述流體液位感測管芯上的感測部件。

10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，形成所述溝槽包括形成所述溝槽以圍繞所述流體液位感測管芯。

11.一種流體性質感測裝置，包括：

襯底，其具有形成在其中的溝槽，以提供：

流體液位感測管芯、限定電容器的若干個電極和電氣互連件之間的電連接；以及

對所述流體液位感測管芯的機械保護；

設置在所述襯底上的所述流體液位感測管芯；

設置在所述流體液位感測管芯上的若干個感測部件，所述若干個感測部件檢測流體儲存器中的流體液位；

由放置在所述溝槽的壁上的電極限定的電容器，所述電容器檢測所述流體儲存器中的流體的性質；

集成電路，其將從所述若干個感測部件收集的數據輸出到所述電氣互連件；

所述電氣互連件，其輸出從所述集成電路和所述電容器收集的數據；以及

密封裝置，其抵靠所述流體性質感測裝置被插入其中的流體儲存器來密封所述流體性質感測裝置，

其中，所述電極形成所述電容器的金屬板。

12.如權利要求11所述的裝置，其特征在于，所述溝槽圍繞所述流體液位感測管芯。

13.如權利要求11所述的裝置，其特征在于，所述流體液位感測管芯小于220微米寬。

14.如權利要求11所述的裝置，其特征在于，所述若干個感測部件是熱感測部件。

15.如權利要求11所述的裝置，其特征在于，所述溝槽是蛇形溝槽。