[發明專利]磁傳感器

有效

• 申請號: 201680083114.4
• 申請日: 2016-10-20
• 公開（公告）號: CN108700637B
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發明（設計）人: 田邊圭
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: G01R33/02
• 分類號: G01R33/02;G01R33/09;H01L43/08
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦;陳明霞

本發明提供一種磁傳感器，通過使磁通更大地彎曲來提高磁檢測靈敏度的磁傳感器。本發明的磁傳感器具備：位于分離第1空間(S1)和第2空間(S2)的平面(P)的磁檢測元件(MR1、MR2)、配置于第1空間(S1)且從z方向觀察位于磁檢測元件(MR1、MR2)之間的第1磁性體(31)以及配置于第2空間(S2)的第2磁性體(32)。從z方向看，磁檢測元件(MR1)位于第1磁性體(31)和第2磁性體(32)的第1部分(32a)之間。從z方向看，磁檢測元件(MR2)位于第1磁性體(31)和第2磁性體(32)的第2部分(32b)之間。根據本發明，由于第1磁性體集中的磁通被引到第2磁性體的第1部分和第2部分，所以能夠使磁通更大地彎曲。由此，能夠提高磁傳感器的磁檢測靈敏度。

技術領域

本發明涉及磁傳感器，具體而言，涉及具備將磁通集中于磁檢測元件的磁性體的磁傳感器。

背景技術

使用了磁阻元件的磁傳感器被廣泛用于電流表、磁編碼器等。在磁傳感器中，設置有用于將磁通集中于磁檢測元件的磁性體，在這種情況下，磁性體相對于磁檢測元件偏移而配置(參照專利文獻1和2)。由此，由于磁性體的作用，磁通的方向朝磁化固定方向彎曲，從而能夠進行高靈敏度的檢測。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特許第5500785號公報

專利文獻2：日本特開2014-182096號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

然而，在專利文獻1和2中所記載的磁傳感器中，由于僅僅是磁性體相對于磁檢測元件偏移地配置，因此將磁通彎曲的能力不充分。

因此，本發明的目的在于提供一種通過使磁通更大地彎曲來提高磁檢測靈敏度的磁傳感器。

解決技術問題的手段

本發明的磁傳感器，其特征在于，具備：多個磁檢測元件，包括位于分離第1空間和第2空間的平面的至少第1磁檢測元件和第2磁檢測元件；第1磁性體，其配置于所述第1空間，從與所述平面交叉的第1方向觀察位于所述第1磁檢測元件和所述第2磁檢測元件之間；以及第2磁性體，其配置于所述第2空間，且至少具有第1部分和第2部分，從所述第1方向觀察，所述第1磁檢測元件位于所述第1磁性體和所述第2磁性體的所述第1部分之間，從所述第1方向觀察，所述第2磁檢測元件位于所述第1磁性體和所述第2磁性體的所述第2部分之間。

根據本發明，由于第1磁性體集中的磁通被引到第2磁性體的第1部分和第2部分，所以能夠使磁通更大地彎曲。因此，能夠提高磁傳感器的磁檢測靈敏度。在此，優選第1磁性體和第2磁性體由軟磁性材料構成。

在本發明中，優選所述第2磁性體還包括連接所述第1部分和所述第2部分的第3部分，并且所述第1部分和所述第2部分具有比所述第3部分更加向所述平面側突出的形狀。由此，使磁通進一步彎曲的力量變得更大，從而能夠進一步提高磁傳感器的磁檢測靈敏度。

在這種情況下，優選所述第1部分和第2部分的端面位于所述平面附近。由此，磁通能更加銳角地彎曲，從而能夠進一步提高磁傳感器的磁檢測靈敏度。

在本發明中，優選所述多個磁檢測元件與所述平面平行，且將作為所述第1及所述第2磁檢測元件的排列方向的第2方向作為磁化固定方向。由此，磁通向磁化固定方向有很大的彎曲，因此磁傳感器的磁檢測靈敏度提高了。

在這種情況下，優選與所述平面平行且與所述磁化固定方向交叉的第3方向上的所述第1磁性體的長度比所述第3方向上的所述多個磁檢測元件的各自的長度都長。此外，在所述第3方向上的所述第2磁性體的長度也比所述第3方向上的所述多個磁檢測元件的各自的長度更長。根據這些，可以在第3方向的較寬的區域中獲得與磁化固定方向平行的磁場，從而能夠進一步提高磁傳感器的磁檢測靈敏度。