[發明專利]三維表面電位分布測量裝置

有效

• 申請號: 201680081323.5
• 申請日: 2016-02-08
• 公開（公告）號: CN108713149B
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 古川真陽;吉滿哲夫;坪井雄一;日高邦彥;熊田亞紀子;池田久利
• 申請（專利權）人: 東芝三菱電機產業系統株式會社;國立大學法人東京大學
• 主分類號: G01R29/08
• 分類號: G01R29/08;G01R31/34
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種三維表面電位分布測量系統，對于收納于旋轉電機的定子的狀態下的定子線圈導體，將其連接部以外的位置作為測定對象，從形狀呈三維變化的所述定子線圈導體的徑向外側、徑向內側以及軸向外側對測定對象的表面電位進行測量，其特征在于，該三維表面電位分布測量系統具有：

激光光源，出射激光光束；

普克爾斯晶體，具有第1端面及第2端面，并具有折射率根據所述第1端面與所述第2端面之間的電位差的變化而變化的普克爾斯效應，并且配置成使所述第1端面面向供從所述激光光源出射的所述激光光束入射的一側，使所述第2端面面向所述測定對象側，該普克爾斯晶體沿著所述激光光束的傳播方向在長度方向上延伸；

鏡，設于所述第2端面，使從所述普克爾斯晶體的所述第1端面入射的所述激光光束向與所述入射的方向相反的方向反射；

光檢測器，具有跟隨逆變器脈沖電壓的高頻分量的頻帶，接受通過所述鏡被反射的所述激光光束，檢測與所述普克爾斯晶體的所述第1端面和所述第2端面之間的電位差對應的所述激光光束的光強度；

框體，一面維持所述激光光源、所述普克爾斯晶體、所述鏡和所述光檢測器相互間的相對位置關系，一面保持所述激光光源、所述普克爾斯晶體、所述鏡和所述光檢測器；

三維移動驅動裝置，能夠以使所述普克爾斯晶體成為與所述測定對象對置的方向上的位置的方式，三維地對所述框體進行移動驅動；以及

驅動控制部，控制所述三維移動驅動裝置，

所述框體具有間隙傳感器，該間隙傳感器與所述普克爾斯晶體一體地移動，并測量所述普克爾斯晶體和所述測定對象的表面之間的間隙，所述間隙傳感器輸出的間隙信號被輸入到所述驅動控制部，

所述驅動控制部將來自所述間隙傳感器的信號作為反饋信號，以使該信號值成為規定的間隙值的方式控制所述三維移動驅動裝置，

所述三維移動驅動裝置具有：

中心軸，從外部被靜止固定于所述定子鐵芯的中心軸位置；

周向及軸向驅動部，被安裝于所述中心軸，變更周向的位置以及軸向的位置；

徑向驅動部，被安裝于所述周向及軸向驅動部，變更徑向的位置；以及

方向轉換用旋轉驅動部，被安裝于所述徑向驅動部，變更所述普克爾斯晶體的方向。

2.根據權利要求1所述的三維表面電位分布測量系統，其特征在于，

所述普克爾斯晶體形成為從所述第1端面朝向所述第2端面而逐漸變細。

3.根據權利要求1或2所述的三維表面電位分布測量系統，其特征在于，

所述普克爾斯晶體是BGO晶體。