[發明專利]電磁感應式位置檢測器

有效

• 申請號: 201680080404.3
• 申請日: 2016-04-13
• 公開（公告）號: CN108603768B
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 石井浩;竹內克佳
• 申請（專利權）人: 三菱重工工作機械株式會社
• 主分類號: G01D5/20
• 分類號: G01D5/20;G01D5/245
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 趙晶;高培培

1.一種電磁感應式位置檢測器，其具備：

初級側部件，具有：發送繞組部，通過從交流電源流通電流來產生磁場；及接收繞組部，配置成在與該發送繞組部之間隔著絕緣層重疊；

次級側部件，具有磁通調制部，通過所述發送繞組部的磁場產生渦流，由此在所述接收繞組部產生感應電壓；及

控制部，根據所述感應電壓進行位置檢測，

所述電磁感應式位置檢測器的特征在于，

所述發送繞組部具有：

第1發送繞組，其為如下形狀，即，朝向所述次級側部件的拉伸方向的一側拉伸的周期圖案在規定周期的端部折返，形成正極性環路及負極性環路；及

第2發送繞組，其為如下形狀，即，設為隔著絕緣層與所述第1發送繞組重疊，朝向所述次級側部件的拉伸方向的另一側拉伸的與所述第1發送繞組相同周期的周期圖案在規定周期的端部折返，形成所述正極性環路及所述負極性環路，

所述正極性環路與所述負極性環路沿所述次級側部件的拉伸方向重疊一部分的同時交替形成，所述第1發送繞組中從該第1發送繞組自身的長邊方向上的中間位置向兩側的所述正極性環路及所述負極性環路的配置調整為相互反向，所述第2發送繞組中從該第2發送繞組自身的長邊方向上的中間位置向兩側的所述正極性環路及所述負極性環路的配置調整為相互反向，

所述接收繞組部具有：

第1接收繞組，形成為如下矩形圖案，即，在所述次級側部件的寬度方向上覆蓋所述發送繞組部，并且，在所述次級側部件的拉伸方向上具有相當于所述第1發送繞組及所述第2發送繞組的所述周期圖案的周期的長度；及

第2接收繞組，以所述發送繞組部的長邊方向上的中間位置為中心，呈與所述第1接收繞組對稱的形狀，并與所述第1接收繞組連接，

所述磁通調制部沿所述次級側部件的拉伸方向排列有多個，并與所述發送繞組部及所述接收繞組部對置，

所述交流電源具有向所述第1發送繞組流通電流Is的第1交流電源及向所述第2發送繞組流通電流Ic的第2交流電源。

2.根據權利要求1所述的電磁感應式位置檢測器，其特征在于，

將所述第1發送繞組及所述第2發送繞組的所述周期圖案的周期設為nλ，該第1發送繞組及該第2發送繞組以相互錯開1/4周期的方式重疊，

所述磁通調制部以λ為間距而排列有多個，

將所述電流Is設為Is＝-Isin(2πα/λ)sin(ωt)，

將所述電流Ic設為Ic＝Icos(2πα/λ)sin(ωt)，

所述控制部控制所述第1交流電源及所述第2交流電源，以所述感應電壓Vf成為0的方式調整α，并設為X＝α，由此進行位置檢測，

其中，設為Is為所述電流Is的大小，Ic為所述電流Ic的大小，λ為所述磁通調制部的1間距的長度，ω為交流電流的角頻率，t為時刻，X為所述次級側部件的位置，α為參數。

3.根據權利要求2所述的電磁感應式位置檢測器，其特征在于，

所述第1發送繞組及所述第2發送繞組的所述周期圖案形成為，在相當于極大值及極小值的位置與端部的折返位置，設置有貫穿所述絕緣層的層間連接配線，該層間連接配線中，以相互交替的方式，從第N層過渡至第N+1層并且從第N+1層過渡至第N層。