[發明專利]通過無透鏡成像觀察樣本的方法

有效

• 申請號: 201680079063.8
• 申請日: 2016-12-22
• 公開（公告）號: CN108496070B
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 皮埃爾·布朗丹
• 申請（專利權）人: 原子能和替代能源委員會
• 主分類號: G01N15/14
• 分類號: G01N15/14;G01N15/02
• 代理公司: 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) 11413
• 代理人: 侯麗英;劉繼富

1.一種觀察樣本(10)的方法，包括以下步驟：

a)使用激光二極管(11)照射所述樣本，所述激光二極管被配置為發射朝向所述樣本傳播的入射光波(12)，所述激光二極管被供應有電源電流，使得當所述電源電流的強度(i)超過閾值強度(i_s)時獲得激光效應；

b)使用圖像傳感器(20)獲取所述樣本的圖像(25)，所述樣本位于所述激光二極管(11)和所述圖像傳感器(20)之間，每個圖像表示由所述入射光波(12)經所述樣本的透射產生的透射光波(22)；

其中，所述激光二極管的電源電流的強度(i)小于或等于臨界強度(i_c)，在步驟a)之前根據以下預備步驟來確定所述臨界強度：

i)將所述激光二極管(11)定位成使其發射的所述入射光波(12)向所述圖像傳感器(20)傳播；

ii)向所述激光二極管(11)供應初始電源電流，所述初始電源電流的強度大于或等于所述閾值強度(i_s)，并且使用所述圖像傳感器獲取初始圖像，所述初始圖像具有橫向干涉條紋；

iii)改變所述電源電流的強度并且使用所述圖像傳感器(20)獲取圖像，重復該步驟直到獲取具有與所述初始圖像相比衰減的橫向干涉條紋的圖像，所述電源電流的強度則對應于所述臨界強度(i_c)。

2.根據權利要求1所述的觀察樣本(10)的方法，其中，所述臨界強度(i_c)小于所述閾值強度(i_s)。

3.根據權利要求1所述的觀察樣本(10)的方法，其中，所述臨界強度在所述閾值強度(i_s)的0.7倍和所述閾值強度(i_s)之間，或者在所述閾值強度(i_s)的0.8倍和所述閾值強度(i_s)之間。

4.根據權利要求1所述的觀察樣本的方法，其中，在所述初始圖像上，兩個相鄰的橫向干涉條紋由對比度指標(ind)來表征，所述對比度指標表示所述干涉條紋之間的對比度，所述臨界強度對應于所述對比度指標降低超過25％。

5.根據權利要求1所述的觀察樣本(10)的方法，其中，在預備步驟i)至iii)中，表示所觀察的樣本的參考樣本位于所述圖像傳感器(20)和所述激光二極管(11)之間。

6.根據權利要求1所述的觀察樣本(10)的方法，其中，在預備步驟i)至iii)中，沒有樣本位于所述圖像傳感器(20)和所述激光二極管(11)之間。

7.根據權利要求1所述的觀察樣本(10)的方法，其中，所述樣本(10)包括衍射元素(13)，所述衍射元素在所述入射光波(12)照射的作用下形成衍射波(23)，使得所述圖像傳感器暴露于曝光波(24)，所述曝光波(24)包括所述透射光波(22)和所述衍射波(23)。

8.根據權利要求1所述的觀察樣本(10)的方法，其中，在步驟b)中，所述電源電流的強度(i)在所述閾值強度的0.5倍和所述閾值強度(i_s)之間，或者在所述閾值強度的0.7倍和所述閾值強度之間。

9.根據權利要求1所述的觀察樣本(10)的方法，其中，在步驟b)中，所述電源電流的強度(i)在所述閾值強度(i_s)的0.5倍和所述閾值強度的0.9倍之間，或者在所述閾值強度的0.7倍和所述閾值強度的0.9倍之間。

10.根據權利要求1所述的觀察樣本(10)的方法，其中，沒有放大光學器件在所述樣本和所述圖像傳感器(20)之間延伸。