[發(fā)明專利]合波激光光源

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680078247.2
• 申請(qǐng)日: 2016-01-08
• 公開（公告）號(hào): CN108463754A
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齊川次郎;坂本隼規(guī)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社島津制作所
• 主分類號(hào): G02B6/42
• 分類號(hào): G02B6/42;H01S5/022;H01S5/40
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

合波激光光源具備：二維激光光源(1)，其由激光光源排列為二維狀而成；二維偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件，其與所述二維激光光源(1)相對(duì)應(yīng)地配置，該二維偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件具有X方向轉(zhuǎn)向光學(xué)元件(3)以及Y方向轉(zhuǎn)向光學(xué)元件(4)，該X方向轉(zhuǎn)向光學(xué)元件(3)使所述二維激光光源的各激光光軸朝X方向偏轉(zhuǎn)，該Y方向轉(zhuǎn)向光學(xué)元件(4)使所述二維激光光源的各激光光軸朝Y方向偏轉(zhuǎn)；以及耦合透鏡，其對(duì)來(lái)自所述二維偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件(3、4)的激光進(jìn)行聚光并耦合至光纖。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種合波激光光源，其對(duì)來(lái)自相互獨(dú)立的多個(gè)光源的激光進(jìn)行合波從而謀求高亮度化。此外，本發(fā)明涉及將上述的合波激光光源作為光源的曝光用裝置、加工機(jī)、照明設(shè)備、醫(yī)療用設(shè)備。

背景技術(shù)

以往，作為謀求激光的高輸出化的方法，已知有將來(lái)自多個(gè)光源的多道激光合波到一根光纖等的方法、對(duì)耦合有多個(gè)光源的光纖進(jìn)行捆束而結(jié)合為一根光纖的方法(專利文獻(xiàn)1)。

此外，為了謀求高亮度化，已知有如下的方法：使氣密性封裝后的多個(gè)半導(dǎo)體激光器的多道光束之中的、出射到與聚光光學(xué)系統(tǒng)的光軸不同方向的光束朝光軸的方向偏轉(zhuǎn)而入射至聚光光學(xué)系統(tǒng)，并使被聚光光學(xué)系統(tǒng)聚光后的光束入射至光纖而進(jìn)行合波(專利文獻(xiàn)2)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2002-202442號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利特開2007-17925號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

然而，在專利文獻(xiàn)2中，封裝后的多個(gè)半導(dǎo)體激光器的各方所配置的位置不同，并且多個(gè)半導(dǎo)體激光器的各方被配置在三維上。因此，為了在三維上調(diào)整并配置多個(gè)半導(dǎo)體激光器的光軸，調(diào)整需要花費(fèi)時(shí)間，調(diào)整成本會(huì)增加。

此外，由于半導(dǎo)體激光器產(chǎn)生熱，所以需要利用散熱器來(lái)使半導(dǎo)體激光器散熱。但是，在半導(dǎo)體激光器的數(shù)量增加的情況下，就需要進(jìn)行更多的散熱，所以散熱器結(jié)構(gòu)會(huì)復(fù)雜化。

本發(fā)明的課題是提供一種能夠容易地調(diào)整激光光源的光軸、且能夠降低調(diào)整成本的合波激光光源。

解決問(wèn)題的技術(shù)手段

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明所涉及的合波激光光源具備：二維激光光源，其由激光光源排列為二維狀而成；二維偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件，其與所述二維激光光源相對(duì)應(yīng)地配置，該二維偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件具有X方向轉(zhuǎn)向光學(xué)元件以及Y方向轉(zhuǎn)向光學(xué)元件，該X方向轉(zhuǎn)向光學(xué)元件使所述二維激光光源的各激光光軸朝X方向偏轉(zhuǎn)，該Y方向轉(zhuǎn)向光學(xué)元件使所述二維激光光源的各激光光軸朝Y方向偏轉(zhuǎn)；以及耦合透鏡，其對(duì)來(lái)自所述二維偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件的激光進(jìn)行聚光并耦合至光纖。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，由于對(duì)配置在二維平面上的激光光源而言，能夠?qū)⒐廨S調(diào)整限定在同一平面內(nèi)，所以能夠容易地調(diào)整二維激光光源的光軸。由此，能夠通過(guò)調(diào)整的自動(dòng)化等來(lái)降低調(diào)整成本。此外，通過(guò)二維偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件使二維激光光源的各激光光軸朝向X方向和Y方向偏轉(zhuǎn)，通過(guò)耦合透鏡對(duì)來(lái)自二維偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件的激光進(jìn)行聚光并耦合到光纖。因此，可以謀求光束的高密度化并可以實(shí)現(xiàn)高輸出化。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的合波激光光源的構(gòu)成的圖。

圖2是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的合波激光光源的使用了CAN型半導(dǎo)體激光器的二維激光器裝配部的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖。

圖3是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的合波激光光源的使用CAN型半導(dǎo)體激光器并在X方向被分割的二維激光器裝配部的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖。

圖4是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的合波激光光源的使用CAN型半導(dǎo)體激光器并在Y方向被分割的二維激光器裝配部的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖。