[發(fā)明專利]用于測(cè)試電路的系統(tǒng)和診斷測(cè)量方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680078186.X
• 申請(qǐng)日: 2016-11-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108603845B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: C.內(nèi)米羅;N.萊斯利
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: FEI公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88;G01R31/317;H01L21/66
• 代理公司: 72001 中國(guó)專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 張健;申屠偉進(jìn)<國(guó)際申請(qǐng)>=PCT/US

1.一種用于測(cè)試電路的系統(tǒng)，包括：

測(cè)試循環(huán)生成器，被配置為向電路供應(yīng)測(cè)試循環(huán)信號(hào)，其中測(cè)試循環(huán)信號(hào)包括重復(fù)每個(gè)測(cè)試循環(huán)周期的刺激信號(hào)；

激光源；

第一光學(xué)器件，被配置為將來(lái)自激光源的連續(xù)波激光束引導(dǎo)到電路上；

傳感器，被配置為檢測(cè)來(lái)自電路的反射激光光并響應(yīng)于其生成傳感器輸出；和

高速數(shù)字信號(hào)平均器，被配置為基于傳感器輸出和同步信號(hào)生成數(shù)字輸出信號(hào)，其中高速數(shù)字信號(hào)平均器針對(duì)連續(xù)波激光束的光柵掃描的每個(gè)位置生成數(shù)字輸出信號(hào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中第一光學(xué)器件包括激光掃描顯微鏡（LSM），所述激光掃描顯微鏡被配置為跨電路的區(qū)域光柵掃描所述連續(xù)波激光束以產(chǎn)生所述光柵掃描。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中傳感器輸出包括直流（DC）分量和交流（AC）分量。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中AC分量對(duì)應(yīng)于電路對(duì)測(cè)試循環(huán)信號(hào)的響應(yīng)信號(hào)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，還包括被配置為針對(duì)每個(gè)位置存儲(chǔ)數(shù)字輸出信號(hào)的存儲(chǔ)器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中數(shù)字輸出信號(hào)在每個(gè)位置處基于在多個(gè)完整測(cè)試循環(huán)周期內(nèi)的由刺激信號(hào)所產(chǎn)生的傳感器輸出的AC分量。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，還包括被配置為針對(duì)每個(gè)位置存儲(chǔ)數(shù)字輸出信號(hào)的存儲(chǔ)器。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中高速數(shù)字信號(hào)平均器被配置為接收選通信號(hào)，其中選通信號(hào)定義小于測(cè)試循環(huán)周期的至少一個(gè)選通周期。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中數(shù)字輸出信號(hào)在每個(gè)位置處基于在多個(gè)測(cè)試循環(huán)周期內(nèi)的選通周期期間的由刺激信號(hào)所產(chǎn)生的傳感器輸出的AC分量。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，還包括被配置為存儲(chǔ)數(shù)字輸出信號(hào)的存儲(chǔ)器。

11.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中DC分量對(duì)應(yīng)于LSM圖像。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中高速數(shù)字信號(hào)平均器包括高速積分器電路。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中同步信號(hào)包括來(lái)自測(cè)試循環(huán)生成器的信號(hào)。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其中同步信號(hào)包括來(lái)自LSM的像素時(shí)鐘。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中高速數(shù)字信號(hào)平均器生成波形映射圖，并且其中所述波形映射圖的每個(gè)像素可被擴(kuò)展以揭示在該位置處獲取的波形。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，還包括第二光學(xué)器件，所述第二光學(xué)器件被配置為收集來(lái)自電路的反射激光光。

17.一種用于測(cè)試電路的系統(tǒng)，包括：

測(cè)試循環(huán)生成器，被配置為向電路供應(yīng)測(cè)試循環(huán)信號(hào)，其中測(cè)試循環(huán)信號(hào)包括重復(fù)每個(gè)測(cè)試循環(huán)周期的刺激信號(hào)；

激光源；

第一光學(xué)器件，被配置為將來(lái)自激光源的激光束引導(dǎo)到電路上；

傳感器，被配置為檢測(cè)來(lái)自電路的反射激光光并響應(yīng)于其生成傳感器輸出；

高速數(shù)字信號(hào)平均器，被配置為基于傳感器輸出和同步信號(hào)生成數(shù)字輸出信號(hào)；和

選通生成器電路，所述選通生成器電路電耦合到高速信號(hào)平均器并且被配置為輸出具有選通開(kāi)始時(shí)間和選通持續(xù)時(shí)間的選通信號(hào)，其中所述持續(xù)時(shí)間小于測(cè)試循環(huán)周期。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，其中數(shù)字輸出信號(hào)還基于選通信號(hào)。