[發明專利]窄帶化激光裝置

有效

• 申請號: 201680077589.2
• 申請日: 2016-02-02
• 公開（公告）號: CN108475896B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 古里博志;太田毅;河野夏彥;若林理;熊崎貴仁
• 申請（專利權）人: 極光先進雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/137
• 分類號: H01S3/137
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黃綸偉;金玲

1.一種窄帶化激光裝置，其進行多次突發振蕩而輸出脈沖激光，該多次突發振蕩包括第1突發振蕩和接在所述第1突發振蕩后進行的第2突發振蕩，該窄帶化激光裝置具有：

激光諧振器；

腔，其配置在所述激光諧振器之間；

一對電極，它們配置于所述腔；

電源，其向所述一對電極施加脈沖電壓；

波長選擇元件，其包括至少1個棱鏡，且該波長選擇元件配置于所述激光諧振器；

譜帶寬度可變部，其包括：柱面凹透鏡、柱面凸透鏡和能夠改變所述柱面凹透鏡與所述柱面凸透鏡之間的距離的致動器，且該譜帶寬度可變部配置于所述激光諧振器；

波長可變部，其通過變更所述至少1個棱鏡的姿態，變更所述波長選擇元件的選擇波長；以及

控制部，其根據從所述第1突發振蕩結束時到所述第2突發振蕩開始時之間的所述譜帶寬度可變部的控制量，控制所述波長可變部。

2.根據權利要求1所述的窄帶化激光裝置，其中，

該窄帶化激光裝置還具有波長檢測器，該波長檢測器配置在從所述激光諧振器輸出的脈沖激光的光路上，

所述控制部根據從所述第1突發振蕩結束時到所述第2突發振蕩開始時之間的所述譜帶寬度可變部的控制量，在所述第1突發振蕩結束后且所述第2突發振蕩開始前控制所述波長可變部，

所述控制部根據所述波長檢測器的輸出，在所述第2突發振蕩開始后控制所述波長可變部。

3.根據權利要求1所述的窄帶化激光裝置，其中，

所述控制部構成為能夠訪問存儲有如下數據的介質，并根據存儲于所述介質的數據，控制所述波長可變部，該數據表示所述譜帶寬度可變部的控制量與所述激光諧振器的振蕩波長的變化量之間的關系。

4.根據權利要求3所述的窄帶化激光裝置，其中，

所述介質對應地存儲了所述譜帶寬度可變部的控制量和所述振蕩波長的變化量。

5.根據權利要求3所述的窄帶化激光裝置，其中，

所述介質存儲了所述振蕩波長的變化量相對于所述譜帶寬度可變部的控制量的梯度。

6.根據權利要求3所述的窄帶化激光裝置，其中，

該窄帶化激光裝置還具有波長檢測器，該波長檢測器配置在從所述激光諧振器輸出的脈沖激光的光路上，

所述控制部根據所述波長檢測器的輸出，計測所述譜帶寬度可變部的控制量與所述振蕩波長的變化量之間的關系，存儲于所述介質。

7.根據權利要求6所述的窄帶化激光裝置，其中，

所述控制部在計測所述譜帶寬度可變部的控制量與所述振蕩波長的變化量之間的關系之前，關閉光閘，該光閘對脈沖激光向外部裝置的輸出進行抑制。

8.根據權利要求6所述的窄帶化激光裝置，其中，

所述控制部以規定的低占空比進行激光振蕩，以計測所述譜帶寬度可變部的控制量與所述振蕩波長的變化量之間的關系。

9.根據權利要求1所述的窄帶化激光裝置，其中，

所述控制部計測所述第1突發振蕩的占空比以及從所述第1突發振蕩結束時起到所述第2突發振蕩開始時為止的休止時間，

所述控制部根據所述譜帶寬度可變部的控制量、所述占空比和所述休止時間來控制所述波長可變部。

10.根據權利要求1所述的窄帶化激光裝置，其中，

所述譜帶寬度可變部是針對所述波長選擇元件的分散方向調節波面的波面可變部。

11.根據權利要求10所述的窄帶化激光裝置，其中，

所述控制部構成為能夠訪問存儲有如下數據的介質，并根據存儲于所述介質的數據，控制所述波長可變部，該數據表示所述致動器改變的所述柱面凹透鏡與所述柱面凸透鏡之間的距離和所述激光諧振器的振蕩波長的變化量之間的關系。