[發(fā)明專利]ICP質(zhì)譜分析裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680076005.X
• 申請(qǐng)日: 2016-06-24
• 公開（公告）號(hào): CN108474761B
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中野智仁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社島津制作所
• 主分類號(hào): G01N27/62
• 分類號(hào): G01N27/62;H01J49/10
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種ICP質(zhì)譜分析裝置，其特征在于，具備：

裝置主體部，其經(jīng)由控制氣體流量的氣體流量控制部將等離子體產(chǎn)生用的氬氣和試樣氣體供給到等離子體噴槍的反應(yīng)管，并且對(duì)所述等離子體噴槍的高頻線圈施加來自高頻電源的高頻電壓，由此使試樣氣體離子化，將所產(chǎn)生的試樣離子從樣品導(dǎo)入部引入到質(zhì)譜儀中來進(jìn)行質(zhì)譜分析；

冷卻水系統(tǒng)，其對(duì)包括所述高頻電源、所述高頻線圈以及所述樣品導(dǎo)入部的需要冷卻的被冷卻構(gòu)造部連接水冷用配管的流路，來將來自水源的冷卻水供給到所述被冷卻構(gòu)造部；以及

氬氣供給系統(tǒng)，其對(duì)所述氣體流量控制部連接氣體用配管的流路，來從氬氣源供給氬氣，

其中，在所述冷卻水系統(tǒng)中設(shè)置有：主閥，其連接于所述水冷用配管的上游側(cè)的流路；吹掃氣體流路，其以從所述氣體用配管分支且在比所述主閥靠下游側(cè)的位置經(jīng)由吹掃閥與所述水冷用配管合流的方式進(jìn)行流路連接；以及中間閥，其連接于比所述吹掃氣體流路的合流點(diǎn)靠下游側(cè)的水冷用配管的流路，

所述被冷卻構(gòu)造部在比所述中間閥靠下游側(cè)的位置連接于所述水冷用配管的流路，

該ICP質(zhì)譜分析裝置還具備使所述主閥、所述吹掃閥以及所述中間閥的開閉控制協(xié)作地進(jìn)行的閥控制部，

所述閥控制部進(jìn)行以下的間歇吹掃控制：在使所述主閥為關(guān)閉狀態(tài)且使所述吹掃閥為打開狀態(tài)來經(jīng)由吹掃氣體流路輸送氬氣時(shí)，使所述中間閥間歇性地打開和關(guān)閉以在所述中間閥的上游側(cè)重復(fù)進(jìn)行氬氣的蓄壓和釋放。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ICP質(zhì)譜分析裝置，其特征在于，

在比所述吹掃閥靠下游側(cè)的吹掃氣體流路上設(shè)置有由直徑與該吹掃氣體流路的配管直徑相同或者直徑比該吹掃氣體流路的配管直徑細(xì)的配管構(gòu)成的配管阻力件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的ICP質(zhì)譜分析裝置，其特征在于，

所述冷卻水系統(tǒng)的水冷用配管在比所述吹掃氣體流路的合流點(diǎn)靠下游側(cè)的位置被分支為具有第一中間閥的旁通流路以及將第二中間閥和所述高頻電源按先所述第二中間閥再所述高頻電源的順序串聯(lián)地進(jìn)行流路連接的高頻電源冷卻流路，

所述樣品導(dǎo)入部與所述高頻線圈連接于所述旁通流路和所述高頻電源冷卻流路的下游側(cè)的流路，

所述閥控制部在進(jìn)行所述間歇吹掃控制時(shí)進(jìn)行以下控制：使所述第一中間閥和所述第二中間閥同時(shí)為打開狀態(tài)，來同時(shí)對(duì)所述旁通流路和所述高頻電源冷卻流路進(jìn)行吹掃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的ICP質(zhì)譜分析裝置，其特征在于，

所述冷卻水系統(tǒng)的水冷用配管在比所述吹掃氣體流路的合流點(diǎn)靠下游側(cè)的位置被分支為具有第一中間閥的旁通流路以及將第二中間閥和所述高頻電源按先所述第二中間閥再所述高頻電源的順序串聯(lián)地進(jìn)行流路連接的高頻電源冷卻流路，

所述樣品導(dǎo)入部與所述高頻線圈連接于所述旁通流路和所述高頻電源冷卻流路的下游側(cè)的流路，

所述閥控制部在進(jìn)行所述間歇吹掃控制時(shí)進(jìn)行以下控制：將所述第一中間閥和所述第二中間閥交替地逐一變?yōu)榇蜷_狀態(tài)，來對(duì)所述旁通流路和所述高頻電源冷卻流路逐一地進(jìn)行吹掃。