[發明專利]膜室內不可壓縮測試對象的總泄漏測量

有效

• 申請號: 201680075449.1
• 申請日: 2016-12-20
• 公開（公告）號: CN108474715B
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發明（設計）人: 西爾維奧·德克爾;諾伯特·羅爾夫
• 申請（專利權）人: 英福康有限責任公司
• 主分類號: G01M3/32
• 分類號: G01M3/32
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 官建紅

本發明涉及一種用于在膜室(12)中的至少部分地不可壓縮的測試對象(18)的總泄漏測量的方法，所述膜室包括至少一個柔性壁區并且所述膜室以氣體導通方式連接到壓力傳感器(30)、真空泵(26)以及通過校準閥(34)連接到包圍校準容積(37)的校準室(36)。所述方法包括以下步驟：抽空所述膜室(12)；在完成抽空之后測量所述膜室(12)內的壓力曲線；在壓力進展測量期間，以氣體導通方式將所述校準容積(37)連接到所述膜室(12)的內部容積，在所述氣體導通連接建立之前以及至所述膜室(12)的氣體導通連接已建立之后對壓力進行測量，并且，在連接到所述膜室(12)之前的所述校準室(36)中的壓力高于或低于所述膜室(12)中的壓力，其特征在于：在不包含測試對象(18)的空的膜室(12)的情況下、在所述氣體導通連接建立之前的壓力與到所述膜室(12)的所述氣體導通連接已建立后的壓力之間的壓力差Δ_pleer，與在測試對象(18)存在于所述膜室(12)內時相應的壓力差Δp_Prüfling，進行比較。

本發明涉及一種用于檢測膜室中的至少部分地不可壓縮的測試對象上的總泄漏的方法。

膜室是用于容納待進行泄漏測試的測試對象的測試室的一種特殊形式。膜室的特征在于至少一個壁區由柔性材料(膜、箔)制成。將待進行泄漏測試的測試對象放置在膜室內，然后對膜室進行抽真空。在膜室抽空過程中，空氣從膜室內的測試對象外部區域中抽出，由此柔性膜室壁貼靠在測試對象上。一個特別合適的膜室由兩個彼此相對放置并包圍測試對象的膜層構成，并且所述兩個膜層以氣密方式在其邊緣區域相互連接。在膜室抽真空期間，除了剩余的死體積外，所述膜被拉向測試對象。然后通過壓力傳感器測量膜室中的測試對象外部區域內的壓力曲線。當氣體通過測試對象的泄漏位點從測試對象逸出時，相應測量到的壓力增加作為泄漏的指示。泄漏率可以根據壓力的增加來測量。為此，必須知道膜室的容積，即，膜室所包圍的內部容積。抽空后呈現的膜室容積取決于測試對象的尺寸和形狀。當膜不能完美地貼靠在測試對象上時，會產生死體積。

膜室本身，例如通過從膜室壁釋氣的組分，釋放氣體進入膜室容積。這導致膜室內部的壓力增加(補償壓力增加)。這種補償壓力增加和膜室的死體積影響測量的泄漏率。這會導致泄漏率的測定誤差。為了避免該誤差，通常使用密封的測試對象來進行預先測量以記錄補償壓力增加和死體積。最多只能在實際測量之前通過產品相關校準來確定死體積。一旦測試對象發生變化，例如在隨機抽樣測試的情況下，或者一旦測試對象的數量發生變化，先前的與產品相關的校準就不準確了。

德國專利申請號102014219481.4(其內容在此通過引用被包括在本申請中)描述了將膜室的內部空間(也就是說由膜室包圍的膜室容積)以氣體導通方式與校準室所包圍的校準容積相接合。在膜室和校準室之間設置校準閥，所述校準閥用于在膜室抽真空期間關閉膜室和校準室之間的氣體導通路徑。在膜室已經被抽空之后，并且在通過壓力傳感器測量膜內的壓力變化的同時，打開校準閥，其中，在打開校準閥時，校準室內的壓力高于或者低于被抽空的膜室內的壓力。

校準閥打開后，氣體從校準室流入膜室(或者反之亦然)，導致膜室內壓力突然增加或下降。這種壓力變化可以被稱為急劇的壓力沖擊。壓力沖擊取決于膜室容積。如果是空的膜室，也就是說沒有測試對象，這是膜室的整個內部容積。當測試對象存在于膜室中時，這是膜室內的在基本上密封的測試對象之外的區域中的剩余容積。基于壓力沖擊，在每次測量期間，可以通過壓力增加來精確確定各自的當前膜室容積，從而確定泄漏速率。之后，不再需要事先單獨的校準測量。

據描述，膜室容積由校準閥打開之前校準容積內的壓力(已知，優選大氣壓力)與校準閥打開之后膜室內部的壓力之間的差確定。