[發明專利]藍寶石復合基材及其制造方法

在審

• 申請號: 201680073809.4
• 申請日: 2016-12-16
• 公開（公告）號: CN108367973A
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 永田和壽;久保田芳宏
• 申請（專利權）人: 信越化學工業株式會社
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34;B32B17/10;C03C27/00;C30B29/20;C30B33/06
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;劉芳

1.一種藍寶石復合基材，包括：

無機玻璃基板；

所述無機玻璃基板上的聚乙烯醇縮丁醛或二氧化硅的中間膜；以及

所述中間膜上的單晶藍寶石膜。

2.根據權利要求1所述的藍寶石復合基材，其中，所述二氧化硅的中間膜是使全氫聚硅氮烷進行二氧化硅轉化而成的膜。

3.根據權利要求1或2所述的藍寶石復合基材，其中，所述單晶藍寶石膜具有0.05μm～2μm的厚度。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的藍寶石復合基材，其中，所述無機玻璃基板選自由在20℃～400℃下具有5×10^-6/℃以上且1×10^-5/℃以下的膨脹率的鈉鈣玻璃、硼硅酸鹽玻璃、以及化學強化玻璃所組成的群組。

5.一種藍寶石復合基材的制造方法，其至少包括：

從單晶藍寶石基板的表面注入氫離子，在所述單晶藍寶石基板的內部形成離子注入層的工序；

對選自由所述單晶藍寶石基板的進行離子注入前的所述表面、所述單晶藍寶石基板的進行了離子注入的表面以及要與所述單晶藍寶石基板進行貼合的無機玻璃基板的表面所組成的群組中的至少一個表面，涂布包含聚乙烯醇縮丁醛或二氧化硅前驅體的溶液之后進行加熱，形成聚乙烯醇縮丁醛或二氧化硅的中間膜的工序；

經由所述中間膜，貼合所述單晶藍寶石基板的進行了離子注入的表面、與要跟所述單晶藍寶石基板進行貼合的無機玻璃基板的表面而獲得接合體的工序；以及

將所述接合體沿所述離子注入層予以剝離，并經由所述中間膜將單晶藍寶石膜轉印至所述無機玻璃基板上的工序。

6.根據權利要求5所述的藍寶石復合基材的制造方法，其中，所述二氧化硅前驅體是全氫聚硅氮烷。

7.根據權利要求5或6中任一項所述的藍寶石復合基材的制造方法，其中，所述氫離子為氫分子離子，所述氫分子離子的注入量為1.0×10¹⁶atoms/cm²以上且2.5×10¹⁷atoms/cm²以下。

8.根據權利要求5至7中任一項所述的藍寶石復合基材的制造方法，其中，在所述進行轉印的工序中，所述剝離是面向所述離子注入層，通過機械沖擊、光照射和/或加熱來進行。

9.根據權利要求5至8中任一項所述的藍寶石復合基材的制造方法，其中，所述單晶藍寶石膜具有0.05μm～2μm的厚度。

10.根據權利要求5至9中任一項所述的藍寶石復合基材的制造方法，其中，所述無玻璃基板選自由在20℃～400℃下具有5×10^-6/℃以上且1×10^-5/℃以下的膨脹率的鈉鈣玻璃、硼硅酸鹽玻璃、以及化學強化玻璃所組成的群組。