[發明專利]高頻電源裝置及高頻電源裝置的控制方法

有效

• 申請號: 201680072892.3
• 申請日: 2016-09-07
• 公開（公告）號: CN108476583B
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 讓原逸男;大間亮介
• 申請（專利權）人: 株式會社京三制作所
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;H01L21/3065;H03H7/30
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 曾賢偉;郝慶芬

1.一種高頻電源裝置，其是對于伴隨放電的負載供給高頻電力的高頻電源裝置，其中，該高頻電源裝置具備：

高頻產生電路，其將頻率設為可變；

頻率控制電路，其輸出控制上述高頻產生電路的頻率變更的控制信號；

反射狀態檢測電路，其包含檢測上述高頻產生電路的相位狀態的相位檢測電路、以及運算上述高頻產生電路的輸出端的反射系數值及/或反射量的反射運算電路；

控制方向指示電路，其基于上述相位檢測電路輸出的相位狀態，在頻率變更中輸出指示使頻率增加或減少的控制方向的方向指示信號；以及

再控制電路，其向上述頻率控制電路輸出對上述頻率變更進行再次指示的再控制信號，

上述頻率控制電路對上述高頻產生電路進行通過包含相位控制以及反射電力控制的控制將頻率設為可變的頻率控制，并且進行基于上述再控制信號進行的對上述高頻產生電路的控制信號的輸出，其中，

上述相位控制為，在控制開始時，基于上述控制方向指示電路輸出的方向指示信號，來控制頻率變更中的頻率增減，

上述反射電力控制為，在控制完畢時，將上述反射運算電路輸出的反射系數值及/或反射量作為控制完畢條件來控制頻率變更的持續/停止，

上述再控制電路以通過上述頻率變更而決定的頻率中的反射系數值及/或反射量作為中心值，并具有將在該中心值的上下具有規定寬幅的反射系數值范圍及/或反射量范圍作為決定再控制的閾值范圍，

當處于以上述反射運算電路檢測出的反射系數值為反射系數范圍外以及以上述反射運算電路檢測出的反射量為上述反射量范圍外的至少一方時，輸出再控制信號。

2.根據權利要求1所述的高頻電源裝置，其中，

上述再控制電路以規定時間間隔輸出再控制信號，

上述頻率控制電路基于上述再控制信號，再次進行反射電力控制。

3.根據權利要求1或2所述的高頻電源裝置，其中，上述相位檢測電路基于高頻產生電路的輸出端的電壓及電流來檢測相位狀態。

4.根據權利要求1或2所述的高頻電源裝置，其中，上述相位檢測電路基于根據高頻產生電路的輸出端的電壓及電流而求出的相位以及傳送路徑的相位偏差來檢測相位狀態。

5.根據權利要求1或2所述的高頻電源裝置，其中，

在上述高頻產生電路的輸出端具備電壓檢測部及電流檢測部，

上述相位檢測電路基于上述電壓檢測部的檢測電壓及上述電流檢測部的檢測電流來檢測上述相位狀態。

6.根據權利要求1或2所述的高頻電源裝置，其中，

在上述高頻產生電路的輸出端具備方向性檢測器，

上述相位檢測電路針對由上述方向性檢測器分離出的行進波及反射波的分離波，由基于各分離波的電壓及電流的相位的相位差來檢測上述相位狀態。

7.根據權利要求1或2所述的高頻電源裝置，其中，上述相位檢測電路將對由傳送線路所造成的相位偏差量進行加法運算而得到的相位作為高頻產生電路的輸出端的相位狀態進行輸出。

8.一種高頻電源裝置的控制方法，其為權利要求1的高頻電源裝置的控制方法，其特征在于，

在通過上述高頻電源裝置的頻率變更所達成的阻抗匹配，來控制反射電力的頻率控制中，具備：

相位控制工序，在控制開始時，基于高頻電源裝置的相位狀態，來決定頻率掃掠方向，該頻率掃掠方向使頻率變更的頻率增加或減少；以及

反射電力控制工序，在由上述相位控制工序決定的頻率增減所致的頻率變更中，將高頻電源裝置的反射系數值及/或反射量作為控制完畢條件，來控制頻率變更的持續/停止，

以通過上述頻率變更而決定的頻率中的被控制為極小的反射系數值及/或反射量作為中心值，并將在該中心值的上下具有規定寬幅的反射系數值范圍及/或反射量范圍作為決定再控制的閾值范圍，

在上述反射系數值為反射系數范圍外以及上述反射量為上述反射量范圍外的至少任意一方時，再次進行頻率控制。