[發(fā)明專利]具有漸變吸收特征的激光維持等離子體光源有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201680071090.0 | 申請(qǐng)日： | 2016-12-05 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN108369891B | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-06-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | I·貝澤爾;A·謝梅利寧;K·P·格羅斯;M·潘澤爾;A·希梅爾吉;L·威爾遜;J·維滕貝格 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J61/30 | 分類號(hào)： | H01J61/30 |
| 代理公司： | 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287 | 代理人： | 張世俊 |
| 地址： | 美國(guó)加利*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 漸變 吸收 特征 激光 維持 等離子體 光源 | ||
1.一種激光維持等離子體燈，其包括：
氣體容置結(jié)構(gòu)，其經(jīng)配置以容置一定體積的氣體，所述氣體容置結(jié)構(gòu)經(jīng)配置以從用于在所述體積的氣體內(nèi)產(chǎn)生等離子體的泵激光器接收泵照明，其中所述等離子體發(fā)射寬帶輻射，所述氣體容置結(jié)構(gòu)包含一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)，所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)對(duì)來(lái)自所述泵激光器的所述泵照明的至少一部分和由所述等離子體發(fā)射的所述寬帶輻射的至少一部分至少部分地透明，其中所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)包括預(yù)定的漸變吸收剖面以便控制通過(guò)由所述等離子體發(fā)射的所述寬帶輻射引起的對(duì)所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)的加熱；
其中所述預(yù)定的漸變吸收剖面包含所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)的接收最大強(qiáng)度的所述寬帶輻射的一部分處的所述寬帶輻射的至少一部分的最小吸收率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體燈，其中所述預(yù)定的漸變吸收剖面對(duì)應(yīng)于沖擊所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)的所述寬帶輻射的強(qiáng)度剖面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體燈，其中所述預(yù)定的漸變吸收剖面包含所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)的接收最小強(qiáng)度的所述寬帶輻射的一部分處的所述寬帶輻射的至少一部分的最大吸收率。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體燈，其中所述預(yù)定的漸變吸收剖面包含所述氣體容置結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)末端部分處的最大吸收率和所述氣體容置結(jié)構(gòu)的赤道部分處的最小吸收率。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體燈，其中所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)包括：
一或多個(gè)透射元件；以及
一或多個(gè)漸變吸收層，其安置于所述一或多個(gè)透射元件的一或多個(gè)表面上，其中所述一或多個(gè)漸變吸收層的吸收率依據(jù)沿著所述一或多個(gè)透射元件的位置而變化。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子體燈，其中所述一或多個(gè)透射元件的所述一或多個(gè)表面包括：
內(nèi)表面或外表面中的至少一個(gè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子體燈，其中所述一或多個(gè)漸變吸收層由鋁、碳或鉿中的至少一個(gè)形成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體燈，其中所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)包括：
一或多個(gè)透射元件，其摻雜有一或多種吸收材料，使得所述一或多個(gè)透射元件的吸收率以沿著所述一或多個(gè)透射元件的位置為依據(jù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的等離子體燈，其中所述一或多種吸收材料包括鋁、碳或鉿中的至少一個(gè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的等離子體燈，其中所述一或多種吸收材料包括用于吸收非可用寬帶輻射的吸收材料。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體燈，其中所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)包括等離子體燈泡的透明或半透明壁中的至少一個(gè)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體燈，其中所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)包括等離子體單元的透明或半透明壁中的至少一個(gè)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體燈，其中所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)包括等離子體室的一或多個(gè)窗口。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體燈，其中所述一或多個(gè)透射結(jié)構(gòu)包含氟化鈣、氟化鎂、氟化鋰、結(jié)晶石英、藍(lán)寶石或熔融硅石中的至少一個(gè)。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體燈，其中所述氣體選自以下中的至少一者：
惰性氣體、非惰性氣體和氣體的混合物，其中所述氣體的混合物包括兩種或更多種氣體。
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