[發明專利]檢測太陽能晶片上的豁口的方法和系統

有效

• 申請號: 201680070827.7
• 申請日: 2016-09-20
• 公開（公告）號: CN108604880B
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 韓白權
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H02S50/10
• 分類號: H02S50/10;G01N21/95;G01N21/88;G01N21/892
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種用于檢測太陽能晶片的倒角邊緣處的豁口缺陷的豁口檢測系統，包括：

傳送帶，所述傳送帶被配置為在第一方向上移動所述太陽能晶片通過圖像捕獲位置；和

第一照相機，所述第一照相機設置在所述圖像捕獲位置的第一側上并且具有以下取向：將所述第一照相機的聚焦平面相對于所述第一方向以45度的角度定位在所述圖像捕獲位置內并與所述倒角邊緣重合，

由此由所述第一照相機捕獲的圖像不清晰是在所述太陽能晶片的所述倒角邊緣上有豁口。

2.如權利要求1所述的豁口檢測系統，其中所述角度平行于所述太陽能晶片的所述倒角邊緣，所述倒角邊緣在所述圖像捕獲位置中將設置在所述傳送帶上的所述太陽能晶片的相鄰側耦接。

3.如權利要求1所述的豁口檢測系統，進一步包括：

照明器，所述照明器被配置成照亮所述圖像捕獲位置。

4.如權利要求3所述的豁口檢測系統，其中所述照明器進一步包括頻閃燈。

5.如權利要求1所述的豁口檢測系統，進一步包括：

存在傳感器，所述存在傳感器被配置成通過所述第一照相機對所述太陽能晶片的所述倒角邊緣觸發圖像捕獲。

6.如權利要求5所述的豁口檢測系統，其中所述第一照相機被配置為，響應于所述存在傳感器的觸發，以捕獲所述太陽能晶片的所述倒角邊緣的多個圖像。

7.如權利要求6所述的豁口檢測系統，進一步包括：

計算機，所述計算機被配置成從所述多個圖像定位最清晰的圖像并分析所述最清晰的圖像以檢測所述倒角邊緣中存在的豁口缺陷。

8.如權利要求6所述的豁口檢測系統，其中所述存在傳感器位于被配置為在所述太陽能晶片穿過所述第一照相機的聚焦平面之前通過所述第一照相機觸發圖像捕獲的位置。

9.如權利要求6所述的豁口檢測系統，其中所述第一照相機被配置為在至少(2×v×cos 45°)/DOF的每秒幀數(FPS)下操作，其中v是所述太陽能晶片在所述第一方向上移動的速度，并且DOF是所述第一照相機的焦深。

10.如權利要求1所述的豁口檢測系統，進一步包括：

第二照相機，所述第二照相機被配置為獲得設置在所述圖像捕獲位置內的所述太陽能晶片的圖像，其中通過所述第二照相機獲得的所述太陽能晶片的圖像是從與所述圖像捕獲位置的所述第一側相對的所述圖像捕獲位置的第二側。

11.如權利要求10所述的豁口檢測系統，其中所述第二照相機具有以下取向：將所述第二照相機的聚焦平面相對于所述第一方向以45度的角度定位在所述圖像捕獲位置內。

12.如權利要求10所述的豁口檢測系統，進一步包括：

存在傳感器，所述存在傳感器被配置成通過所述第一照相機和所述第二照相機觸發圖像捕獲。

13.如權利要求12所述的豁口檢測系統，其中所述第一照相機和所述第二照相機的每一個被配置為，響應于所述存在傳感器的觸發，捕獲所述太陽能晶片的相應倒角邊緣的多個圖像。

14.如權利要求10所述的豁口檢測系統，進一步包括：

第三照相機，所述第三照相機被配置為獲得設置在所述圖像捕獲位置內的所述太陽能晶片的圖像，通過所述第三照相機獲得的所述太陽能晶片的圖像是從所述圖像捕獲位置的第一側，所述第三照相機的聚焦平面垂直于所述第一照相機的聚焦平面；和

第四照相機，所述第四照相機被配置為獲得設置在所述圖像捕獲位置內的所述太陽能晶片的圖像，通過所述第四照相機獲得的所述太陽能晶片的圖像是從所述圖像捕獲位置的第二側，所述第四照相機的聚焦平面平行于所述第一照相機的聚焦平面并且垂直于所述第三照相機的聚焦平面。