[發(fā)明專利]磁檢測裝置及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201680070673.1 | 申請日： | 2016-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN108291948B | 公開（公告）日： | 2021-04-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 梅津英治 | 申請（專利權(quán)）人： | 阿爾卑斯阿爾派株式會社 |
| 主分類號： | G01R33/09 | 分類號： | G01R33/09;G01R33/02;H01L43/08 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人： | 劉杰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 檢測 裝置 及其 制造 方法 | ||
1.一種磁檢測裝置，具有：基板，具有凹部；以及磁阻效應(yīng)元件，設(shè)置于上述凹部的傾斜側(cè)面，上述磁檢測裝置的特征在于，
上述凹部具有相互對置且隨著趨向基板表面而對置間隔逐漸擴大的第1傾斜側(cè)面和第2傾斜側(cè)面，在上述第1傾斜側(cè)面和上述第2傾斜側(cè)面設(shè)置有磁阻效應(yīng)元件，
上述磁阻效應(yīng)元件具有：固定磁性層；自由磁性層；以及形成在上述固定磁性層與上述自由磁性層之間的非磁性中間層；
上述固定磁性層形成為自釘扎構(gòu)造，該自釘扎構(gòu)造具有第1強磁性層、與上述非磁性中間層相接的第2強磁性層、以及由上述兩個強磁性層夾持的中間層，在上述第1強磁性層和上述第2強磁性層，磁化被反向平行地固定，
關(guān)于各個上述磁阻效應(yīng)元件，由上述第2強磁性層的磁化的方向決定的靈敏度軸被設(shè)定為沿著上述傾斜側(cè)面且朝上述基板的厚度方向傾斜，
上述磁阻效應(yīng)元件中的、上述靈敏度軸的方向在上述基板的板厚方向相互為相反方向的上述磁阻效應(yīng)元件串聯(lián)連接而構(gòu)成元件列，兩列上述元件列并聯(lián)連接而構(gòu)成電橋電路，
上述凹部是設(shè)置在上述基板的至少兩處的Z檢測凹部，利用上述電橋電路檢測上述基板的板厚方向即Z方向的磁，
上述磁檢測裝置中設(shè)置有：設(shè)置于上述第1傾斜側(cè)面和上述第2傾斜側(cè)面的磁阻效應(yīng)元件的上述靈敏度軸均在上述基板的板厚方向朝向下方的上述Z檢測凹部；以及設(shè)置于上述第1傾斜側(cè)面和上述第2傾斜側(cè)面的磁阻效應(yīng)元件的上述靈敏度軸均在上述基板的板厚方向朝向上方的上述Z檢測凹部，
設(shè)置于不同的上述Z檢測凹部的上述第1傾斜側(cè)面的、上述靈敏度軸的方向相互為相反方向的上述磁阻效應(yīng)元件串聯(lián)連接而構(gòu)成第1元件列，
設(shè)置于不同的上述Z檢測凹部的上述第2傾斜側(cè)面的、上述靈敏度軸的方向相互為相反方向的上述磁阻效應(yīng)元件串聯(lián)連接而構(gòu)成第2元件列，
上述第1元件列和上述第2元件列并聯(lián)連接而構(gòu)成上述電橋電路，
與上述Z檢測凹部一起設(shè)置有水平檢測凹部，
在一個上述Z檢測凹部形成第1磁阻效應(yīng)元件和第4磁阻效應(yīng)元件，
在另一個上述Z檢測凹部形成第2磁阻效應(yīng)元件和第3磁阻效應(yīng)元件，
在一個上述Z檢測凹部的第1傾斜側(cè)面設(shè)置的上述第1磁阻效應(yīng)元件，與在另一個上述Z檢測凹部的第1傾斜側(cè)面設(shè)置的上述第2磁阻效應(yīng)元件串聯(lián)連接，
在一個上述Z檢測凹部的第2傾斜側(cè)面設(shè)置的上述第4磁阻效應(yīng)元件，與在另一個上述Z檢測凹部的第2傾斜側(cè)面設(shè)置的上述第3磁阻效應(yīng)元件串聯(lián)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁檢測裝置，其中，
上述固定磁性層的第1強磁性層與第2強磁性層的磁化的方向由磁場中成膜決定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁檢測裝置，其中，
在所有的上述Z檢測凹部，在設(shè)置于同一Z檢測凹部的上述第1傾斜側(cè)面和上述第2傾斜側(cè)面的上述磁阻效應(yīng)元件中，上述靈敏度軸的方向在上述基板的板厚方向上相互為相反方向。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁檢測裝置，其中，
作為上述凹部，與上述Z檢測凹部一起設(shè)置有至少兩處的上述水平檢測凹部，
設(shè)置于上述水平檢測凹部的上述磁阻效應(yīng)元件中的、上述靈敏度軸的方向沿著上述基板表面相互為相反方向的上述磁阻效應(yīng)元件串聯(lián)連接而構(gòu)成元件列，兩列上述元件列并聯(lián)連接而構(gòu)成電橋電路，
利用上述電橋電路檢測與上述基板表面平行的方向的磁。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磁檢測裝置，其中，
在所有的上述水平檢測凹部，在設(shè)置于同一水平檢測凹部的上述第1傾斜側(cè)面的上述磁阻效應(yīng)元件和設(shè)置于上述第2傾斜側(cè)面的上述磁阻效應(yīng)元件中，上述靈敏度軸沿著基板表面相互為相反方向。
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