[發明專利]通過降低裸片到裸片過程噪聲的缺陷信噪比增強

有效

• 申請號: 201680070546.1
• 申請日: 2016-12-08
• 公開（公告）號: CN108369202B
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: B·布拉爾;J·A·史密斯
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G01N27/04
• 分類號: G01N27/04
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 張世俊

1.一種缺陷檢查系統，其包括：

載臺，其經配置以固持晶片；

圖像產生系統，其經配置以產生測試圖像，其中所述測試圖像是所述晶片的部分的圖像；

電子數據存儲單元，其中存儲至少一個參考圖像；及

控制器，其與所述圖像產生系統及所述電子數據存儲單元電子通信，其中所述控制器經配置以：

從所述圖像產生系統接收所述測試圖像且從所述電子數據存儲單元接收所述參考圖像；

計算所述測試圖像的灰度級直方圖；

計算所述參考圖像的灰度級直方圖；

通過直方圖按比例調整來調整所述參考圖像的所述灰度級直方圖，其中所述參考圖像的所述直方圖按比例調整經配置以：從參考圖像的灰度級強度減去所述參考圖像的平均灰度級強度，借此計算差異；將所述差異乘以增益因子，借此計算乘法結果，其中所述增益因子是所述測試圖像的最大灰度級強度值和最小灰度級強度值之間的差異與所述參考圖像的最大灰度級強度值和最小灰度級強度值之間的差異的比值；以及將恒定強度偏移與所述乘法結果相加以得到所述參考圖像的新值，其中所述恒定強度偏移是所述測試圖像的平均灰度級強度；

在通過所述直方圖按比例調整來調整所述參考圖像的所述灰度級直方圖之后，比較所述參考圖像與所述測試圖像以產生差異圖像；以及

借助算法識別所述差異圖像上的缺陷。

2.根據權利要求1所述的缺陷檢查系統，其中所述控制器包含處理器及通信端口，所述通信端口與所述處理器及所述電子數據存儲單元電子通信。

3.根據權利要求1所述的缺陷檢查系統，其中所述圖像產生系統是掃描電子顯微鏡的部分。

4.根據權利要求1所述的缺陷檢查系統，其中所述圖像產生系統經配置以使用電子束、寬帶等離子體或激光中的至少一者來產生所述測試圖像。

5.根據權利要求1所述的缺陷檢查系統，其中所述圖像產生系統經配置以使用亮場或暗場照明中的一者。

6.根據權利要求1所述的缺陷檢查系統，其中所述差異圖像經配置以通過從所述測試圖像減去所述參考圖像而產生。

7.根據權利要求1所述的缺陷檢查系統，其中所述測試圖像及所述參考圖像對應于所述晶片的同一區。

8.根據權利要求1所述的缺陷檢查系統，其中所述控制器經進一步配置以：

計算所述差異圖像的垂直于x軸的投影的第一長度；

計算所述差異圖像的垂直于y軸的投影的第二長度；及

遮蔽所述差異圖像中超過x投影閾值的一或多個像素或遮蔽所述差異圖像中超過y投影閾值的一或多個像素。

9.一種缺陷檢查方法，其包括：

從系統接收測試圖像，其中所述測試圖像是晶片的部分的圖像；

使用控制器來計算所述測試圖像的灰度級直方圖；

使用所述控制器來計算參考圖像的灰度級直方圖；

使用所述控制器通過直方圖按比例調整來調整所述參考圖像的所述灰度級直方圖，其中所述參考圖像的所述直方圖按比例調整經配置以：從參考圖像的灰度級強度減去所述參考圖像的平均灰度級強度，借此計算差異；將所述差異乘以增益因子，借此計算乘法結果，其中所述增益因子是所述測試圖像的最大灰度級強度值和最小灰度級強度值之間的差異與所述參考圖像的最大灰度級強度值和最小灰度級強度值之間的差異的比值；以及將恒定強度偏移與所述乘法結果相加以得到所述參考圖像的新值，其中所述恒定強度偏移是所述測試圖像的平均灰度級強度；

使用所述控制器，在通過所述直方圖按比例調整來調整所述參考圖像的所述灰度級直方圖之后比較所述參考圖像與所述測試圖像以產生差異圖像；以及

使用所述控制器借助算法識別所述差異圖像上的缺陷。

10.根據權利要求9所述的缺陷檢查方法，其中所述測試圖像是顯微鏡圖像。