[發明專利]聚金屬氧烷、其制造方法、其組合物、固化膜和其制造方法以及具備其的構件和電子部件

有效

• 申請號: 201680069004.2
• 申請日: 2016-11-17
• 公開（公告）號: CN108291031B
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 鴨川政雄;諏訪充史;三井博子;中道未來
• 申請（專利權）人: 東麗株式會社
• 主分類號: C08G79/00
• 分類號: C08G79/00;B32B9/00;C08K3/22;C08L85/00;G02B1/11;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/22
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 郭煜;楊戩

1.具有下述通式(1)所示的構成單元的聚金屬氧烷，

[化1]

R¹為羥基、碳原子數1?12的烷基、碳原子數5?12的脂環式烷基、碳原子數1?12的烷氧基、碳原子數6?30的芳族基、(R³₃SiO?)基、具有硅氧烷鍵的基團或具有金屬氧烷鍵的基團，R¹的至少一個為(R³₃SiO?)基；(R³₃SiO?)基任選自三羥基甲硅烷氧基、三甲基甲硅烷氧基、三乙基甲硅烷氧基、三丙基甲硅烷氧基、三異丙基甲硅烷氧基、三丁基甲硅烷氧基、三異丁基甲硅烷氧基、三仲丁基甲硅烷氧基、三叔丁基甲硅烷氧基、三環己基甲硅烷氧基、三甲氧基甲硅烷氧基、三乙氧基甲硅烷氧基、三丙氧基甲硅烷氧基、三異丙氧基甲硅烷氧基、三丁氧基甲硅烷氧基、三苯基甲硅烷氧基、羥基二苯基甲硅烷氧基、甲基二苯基甲硅烷氧基、乙基二苯基甲硅烷氧基、丙基二苯基甲硅烷氧基、二羥基(苯基)甲硅烷氧基、二甲基(苯基)甲硅烷氧基、二乙基(苯基)甲硅烷氧基、二丙基(苯基)甲硅烷氧基、三萘基甲硅烷氧基、羥基二萘基甲硅烷氧基、甲基二萘基甲硅烷氧基、乙基二萘基甲硅烷氧基、丙基二萘基甲硅烷氧基、二羥基(萘基)甲硅烷氧基、二甲基(萘基)甲硅烷氧基、二乙基(萘基)甲硅烷氧基和二丙基(萘基)甲硅烷氧基；R²任選自氫原子、碳原子數1?12的烷基、或具有金屬氧烷鍵的基團；R¹、R²和R³存在多個時，可以各自相同，也可以不同；M表示選自Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Sn、Sb、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、Tl和Bi的金屬原子；m為表示金屬原子M的價數的整數，a為1?(m?2)的整數。

2.根據權利要求1所述的聚金屬氧烷，其中，所述聚金屬氧烷中的R¹的至少一個為羥基。

3.根據權利要求1或2所述的聚金屬氧烷，其中，M包含1種以上選自Ti、Zr和Sn中的金屬原子。

4.聚金屬氧烷的制造方法，其包括使下述通式(2)所示的化合物或其水解物縮聚，得到權利要求1中所述的聚金屬氧烷的工序，

[化2]

R⁴任選自羥基、碳原子數1?12的烷基、碳原子數5?12的脂環式烷基、碳原子數1?12的烷氧基或碳原子數6?30的芳族基；R⁵任選自氫原子或碳原子數1?12的烷基；R⁴和R⁵存在多個時，可以各自相同，也可以不同；M表示選自Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Sn、Sb、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、Tl和Bi中的金屬原子；m為表示金屬原子M的價數的整數，n為1?(m?1)的整數。

5.根據權利要求4所述的聚金屬氧烷的制造方法，其中，所述通式(2)所示的化合物為下述通式(3)所示的化合物，

[化3]

R⁶與通式(1)中的R⁴相同，R⁷為碳原子數1?12的烷基；m為表示金屬原子M的價數的整數，x為1?(m?1)的整數，y為1?(m?1)的整數，x＋y≦m。

6.根據權利要求5所述的聚金屬氧烷的制造方法，其中，所述通式(3)中的y為2?(m?1)的整數。

7.根據權利要求4?6中任一項所述的聚金屬氧烷的制造方法，其中，所述通式(2)中的M包含1種以上選自Ti、Zr和Sn中的金屬原子。

8.組合物，其包含權利要求1?3中任一項所述的聚金屬氧烷。