[發明專利]連結型螺紋槽間隔件及真空泵

在審

• 申請號: 201680068999.0
• 申請日: 2016-12-08
• 公開（公告）號: CN108350895A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 坂口祐幸;三輪田透;三枝健吾;吉原菜穗子
• 申請（專利權）人: 埃地沃茲日本有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張澤洲;劉林華

提供一種維持螺紋槽泵部的排氣性能并且實現小型化的連結型螺紋槽間隔件、及配設有該連結型螺紋槽間隔件的真空泵。本發明的實施方式的連結型螺紋槽間隔件具備使西格巴恩泵部和螺紋槽泵部連結的構造。更詳細地說，將作為排氣要素部的螺紋槽泵部的構造設為在圓筒狀螺紋的上安裝有西格巴恩形的構造的構造，是在該安裝部分各零件連結的結構。即，將西格巴恩部和圓筒狀螺紋(螺紋槽泵部)的流路的邊界以從真空泵的軸線方向觀察時大致呈直角的方式連結，將西格巴恩部和螺紋槽泵部的流路連結。借助該結構，能夠將螺紋槽泵部的壓縮流路長度借助被連結的西格巴恩部在徑向上延伸。

技術領域

本發明涉及連結型螺紋槽間隔件及真空泵。詳細地說，涉及在具有螺紋槽泵部(圓筒螺紋部)和西格巴恩泵部的真空泵中實現螺紋槽泵部的小型化的連結型螺紋槽間隔件及真空泵。

背景技術

具有西格巴恩型的結構的西格巴恩型分子泵具備旋轉圓板(旋轉圓盤)、被與該旋轉圓板在軸向上隔開間隙(空隙)地設置的固定圓板，在該旋轉圓板或固定圓板的至少某一方的間隙相向表面刻設有螺旋狀槽(也稱作螺旋槽或漩渦狀槽)流路。并且，是如下真空泵：對向螺旋狀槽流路內擴散來的氣體分子，借助旋轉圓板施加沿旋轉圓板切線方向(即，旋轉圓板的旋轉方向的切線方向)的動量，由此借助螺旋狀槽從吸氣口向排氣口施加優勢的方向性來進行排氣。

為了將這樣的西格巴恩型分子泵、或者具有西格巴恩型分子泵部的真空泵在工業上利用，旋轉圓板和固定圓板的層為單層的情況下壓縮比不足，所以設置成多層化。若為了滿足所需壓縮性能而增加層數，則相應地泵自身的大小變大。

此外，多層化的情況下，需要將旋轉圓板設為半分割的形狀。這樣，需要將泵的外筒(殼)設至成長達覆蓋西格巴恩部(西格巴恩泵部)的長度，該情況下泵自身的大小也變大。

此外，具有螺紋槽式泵型的結構的螺紋槽型分子泵特別是在高溫化規格的真空泵中，為了使螺紋部(螺紋槽部)下的壓縮性能較好，使螺紋槽部的長度(螺紋長度)變長，或由設置有兩個以上的多個流路的平行通路式構成等來制造。

然而，由于使螺紋長度變長而排氣構造的周圍構造(殼等)的部分變大，或者由于設置成平行通路而復雜的零件增加等，制造成本變大。

圖14是用于說明以往的單通路螺紋式的真空泵的圖。

例如，在具備流路為一個的單通路螺紋槽間隔件2001的以往的真空泵1001中，在欲使壓縮性能變好的情況下，需要使螺紋槽部的軸向的長度變長。這樣，若使螺紋槽部的軸向的長度變長，則需要相應地使基部3變大，所以制造成本變大。

專利文獻1：日本實開平5-38389號公報。

專利文獻2：日本實用新型登記第2501275號。

專利文獻3：日本特開平5-10289號公報。

專利文獻4：日本實公平7-34234號公報。

在專利文獻1中記載了如下結構：以在真空泵中在不使其大型化的情況下使泵性能提高為目的，在轉子的筒部和內筒之間也設置螺紋槽部，并且在筒部的上游側端部設置使筒部的外側和內側連通的開口。

在專利文獻2中記載了如下結構：在西格班形(西格巴恩型)的真空泵中，以提高排氣性能并且減少旋轉圓板及靜止圓板的層數為目的，在靠近大氣側低真空區的多個旋轉圓板及靜止圓板的相向面設置方向不同的螺旋狀槽。

此外，在專利文獻3中對如下結構進行了記載：在復合式干燥真空泵中，以從大氣壓直接排氣為目的，在螺紋槽泵部的后層設置能夠從大氣壓工作的渦流槽圓盤式的西格班泵(西格巴恩泵)部來進行復合。

在專利文獻4中對如下結構進行了記載：在復合式真空泵中，以實現高真空度為目的，將螺紋槽形泵要素、西格班(西格巴恩泵)形泵要素、渦流形泵要素以該順序配設。