[發明專利]含有氟元素的廢氣的處理方法在審
| 申請號： | 201680068109.6 | 申請日： | 2016-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN108348850A | 公開（公告）日： | 2018-07-31 |
| 發明（設計）人： | 村川美奈子;佐野友美;遠田安沙子 | 申請（專利權）人： | 昭和電工株式會社 |
| 主分類號： | B01D53/68 | 分類號： | B01D53/68;B01D53/14;B01D53/78 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務所 11247 | 代理人： | 李照明;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氟元素 廢氣 堿性水溶液 處理氣體 氟系氣體 還原劑 排出 氧化性氣體 酸性氣體 有效處理 氟化氫 濕式法 水接觸 氟化 氟氣 | ||
【權利要求書】：
1.一種含有氟元素的廢氣的處理方法，其特征在于，具有以下工序：
第一工序，使含有氟元素的廢氣與水接觸；和
第二工序，使從第一工序排出的氣體成分與包含還原劑的堿性水溶液接觸。
2.根據權利要求1所述的含有氟元素的廢氣的處理方法，其特征在于，
所述含有氟元素的廢氣，含有氟氣和/或氟化氫。
3.根據權利要求1或2所述的含有氟元素的廢氣的處理方法，其特征在于，
所述還原劑是硫系還原劑。
4.根據權利要求3所述的含有氟元素的廢氣的處理方法，其特征在于，
所述硫系還原劑是亞硫酸鹽和/或硫代硫酸鹽。
5.根據權利要求1～4的任一項所述的含有氟元素的廢氣的處理方法，其特征在于，
在所述第一工序中，與水接觸時的廢氣中的氟氣濃度為40體積％以下。
6.根據權利要求1～5的任一項所述的含有氟元素的廢氣的處理方法，其特征在于，
從所述第一工序排出的氣體成分中的二氟化氧濃度為5體積％以下。
7.根據權利要求1～6的任一項所述的含有氟元素的廢氣的處理方法，其特征在于，
從所述第二工序排出的氣體成分中的二氟化氧濃度為1體積ppm以下。
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